专利名称: | 一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法 |
摘要: | 本发明提供了一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,所述检测方法包括:在液体环境中,将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上,从而检测蓝宝石晶片缺陷;所述检测方法简单易行,且不需要昂贵的专业设备,大大降低了生产成本;效果直观,可通过肉眼直接鉴别;培训成本低,见效快,可立即投入使用,因此适用于蓝宝石晶片缺陷检测。 |
专利类型: | 发明专利 |
国家地区组织代码: | 上海;31 |
申请人: | 上海超硅半导体有限公司 |
发明人: | 姜兵兵;徐伟;沈思情;张俊宝;陈猛 |
专利状态: | 有效 |
申请号: | CN201811346543.3 |
公开号: | CN109374633A |
代理机构: | 北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人: | 巩克栋 |
分类号: | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: | 201617 上海市松江区石湖荡镇闵塔路808号3号厂房 |
主权项: | 1.一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括:在液体环境中,将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上,从而检测蓝宝石晶片缺陷。 |
所属类别: | 发明专利 |