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原文传递 一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法
专利名称: 一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法
摘要: 本发明提供了一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,所述检测方法包括:在液体环境中,将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上,从而检测蓝宝石晶片缺陷;所述检测方法简单易行,且不需要昂贵的专业设备,大大降低了生产成本;效果直观,可通过肉眼直接鉴别;培训成本低,见效快,可立即投入使用,因此适用于蓝宝石晶片缺陷检测。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 上海;31
申请人: 上海超硅半导体有限公司
发明人: 姜兵兵;徐伟;沈思情;张俊宝;陈猛
专利状态: 有效
申请号: CN201811346543.3
公开号: CN109374633A
代理机构: 北京品源专利代理有限公司 11332
代理人: 巩克栋
分类号: G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址: 201617 上海市松江区石湖荡镇闵塔路808号3号厂房
主权项: 1.一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括:在液体环境中,将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上,从而检测蓝宝石晶片缺陷。
所属类别: 发明专利
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