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一种太赫兹叠层成像探针位置误差校正方法
| 专利名称： | 一种太赫兹叠层成像探针位置误差校正方法 |
| 摘要： | 本发明公开了一种太赫兹叠层成像探针位置误差校正方法，该方法包括将探测器采集到的衍射图样进行角谱回传到物平面，由于物平面的衍射图包含着物函数的信息，通过对相邻两幅衍射图回传的物面幅值做互相关运算，由于物面幅值交叠处存在着重复的部分，所以可以通过寻找相关峰得出相邻两幅探针位置的偏移量，定义初始点位置后便可得到全部探针的位置信息，将求得的位置作为输入，用来作为叠层迭代算法探针的位置坐标。通过相邻携带样品信息的小孔衍射图，用亚像素匹配的方法计算得出探针在物平面位置信息。以亚像素精度获取探针与样品的相对位置变化量，提高迭代算法的运算效率以及收敛速度，并提高成像保真度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京工业大学 |
| 发明人： | 王大勇;戎路;唐超;王云新;赵洁 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811156782.2 |
| 公开号： | CN109374580A |
| 代理机构： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 |
| 代理人： | 沈波 |
| 分类号： | G01N21/47(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 100124 北京市朝阳区平乐园100号 |
| 主权项： | 1.一种太赫兹叠层成像探针位置误差校正方法，实现该方法的成像系统光路包括二氧化碳泵浦连续太赫兹激光器，两个镀金离轴抛物面镜，带圆孔掩膜板，被测样品，三维电动平移台，面阵式热释电探测器；二氧化碳泵浦连续太赫兹激光器作为辐射源；离轴抛物面镜将激光器辐射出的连续太赫兹波扩束准直成平行光；掩膜板中心为一个直径为3.3mm的小孔；被测样品置于掩膜板与面阵式热释电探测器之间，被测样品贴近掩膜板，同时尽量靠近探测器，样品固定在三维电动平移台上，三维电动平移台x轴、y轴用以水平、垂直移动待测样品，z轴调节样品沿光轴方向的位置；太赫兹波由激光器生成后，通过两个离轴抛物面镜进行扩束准直，经过掩膜板照射在样品上，透过样品后由热释电探测器记录；通过移动三维平移台，热释电探测器采集到样品交叠的小孔衍射图Ij(u)，其中j＝1,2,3…J，J是衍射图样的总数；其特征在于：该方法将探测器采集到的衍射图样进行角谱回传到物平面，由于物平面的衍射图包含着物函数的信息，通过对相邻两幅衍射图回传的物面幅值做互相关运算，由于物面幅值交叠处存在着重复的部分，所以可以通过寻找相关峰得出相邻两幅探针位置的偏移量，定义初始点位置后便可得到全部探针的位置信息，将求得的位置作为输入，用来作为叠层迭代算法探针的位置坐标。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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