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原文传递一种膜上膜内缺陷的判定方法

专利名称：	一种膜上膜内缺陷的判定方法
摘要：	本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的判定方法。驱动缺陷扫描单元对待测基板扫描，获取待测基板的缺陷部分；驱动图像摄取单元摄取所述缺陷部分的图像；将所述缺陷与待测基板上标准膜上缺陷对比，若两者相似度大于设定值，则所述缺陷位于待测基板上方；若相似度小于设定值，则所述缺陷位于待测基板内部。本发明通过透明膜和空气折射率不同，且图像摄取单元对膜内缺陷和膜上缺陷的聚焦位置不同这一基本原理，使位于膜上的缺陷和位于膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶影像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，提高了关键缺陷的检出率，同时节约大量拍照时间和判定时间，提高了面板的检测效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州精濑光电有限公司
发明人：	郭连俊;杨慎东;颜圣佑
专利状态：	有效
申请号：	CN201710676406.5
公开号：	CN109387525A
代理机构：	武汉开元知识产权代理有限公司 42104
代理人：	黄行军
分类号：	G01N21/95(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	215214 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢
主权项：	1.一种膜上膜内缺陷的判定方法，其特征在于：包括以下步骤：1)、驱动缺陷扫描单元(2)对沉积有透明膜(3)的待测基板扫描，获取待测基板上的缺陷部分的扫描影像；2)、将所述缺陷部分与标准膜上缺陷对比，若两者相似度大于第一设定值，则所述缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷(4)；若相似度小于第一设定值，则所述缺陷部分为位于透明膜(3)内的膜内缺陷(5)。
所属类别：	发明专利