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原文传递缺陷判定方法及缺陷判定装置

专利名称：	缺陷判定方法及缺陷判定装置
摘要：	本发明提供了一种缺陷判定方法及缺陷判定装置，可进行在线实时缺陷判定。所述缺陷判定方法和判定装置，相较于现有技术，设置了较多的判定缺陷的数据维度，可对缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸和缺陷像素等缺陷数据进行准确识别；在缺陷判定过程中自动套用第一数据规则表和第二数据规则表，将所述缺陷数据划分为不同的等级，进而对不同等级的缺陷执行与所述等级相应的操作；提高了缺陷判定的准确度和自动化程度，减少了缺陷判定过程中的人工参与，降低了漏判和误判的风险。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市华星光电技术有限公司
发明人：	雷朋
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910445000.5
公开号：	CN110146513A
代理机构：	深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人：	黄威
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
主权项：	1.一种缺陷判定方法，其特征在于，包括以下步骤：获取样品的缺陷图片；通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据；判定所述缺陷数据的置信度；设定置信度阈值；将所述缺陷数据的置信度高于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第一数据，将所述缺陷数据的置信度低于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第二数据，利用第一数据规则表将所述第一数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级，利用数据复检单元将所述第二数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级；利用第二数据规则表将等级为“修补”的所述第一数据划分为“次合格”和“次修补”两个等级；根据所述第一数据和所述第二数据的等级，将与所述第一数据和所述第二数据相对应的所述样品带入制造执行单元执行与所述等级相对应的操作。 2.根据权利要求1所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述获取样品的缺陷图片的方法为：自动拍摄单元拍摄所述样品的缺陷区域的照片，得到所述样品的缺陷图片。 3.根据权利要求1所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据的方法为：自动计算单元分析所述缺陷图片，得到所述样品的缺陷数据，所述缺陷数据包括缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸及缺陷像素。 4.根据权利要求3所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述判定所述缺陷数据的置信度的方法为：所述自动计算单元分析所述缺陷数据，输出所述缺陷数据的置信度。 5.根据权利要求4所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述设定置信度阈值的方法为：人工设定所述置信度阈值。 6.根据权利要求5所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述利用第一数据规则表将所述第一数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级的方法为：缺陷识别单元将所述第一数据带入所述第一数据规则表，所述第一数据规则表包括“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级的划分标准；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“合格”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“合格”等级；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“修补”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“修补”等级；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“重工”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“重工”等级；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“报废”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“报废”等级。 7.根据权利要求6所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述利用数据复检单元将所述第二数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级的方法为：所述数据复检单元将所述第二数据输出至人工操作端；所述人工操作端将所述第二数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级。 8.根据权利要求6所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述利用第二数据规则表将等级为“修补”的所述第一数据划分为“次合格”和“次修补”两个等级的方法为：所述缺陷识别单元将所述等级为“修补”的所述第一数据带入所述第二数据规则表，所述第二数据规则表包括“次合格”和“次修补”两个等级的划分标准；若所述等级为“修补”的所述第一数据与所述第二数据规则表的“次合格”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述等级为“修补”的所述第一数据划分为“次合格”等级；若所述等级为“修补”的所述第一数据与所述第二数据规则表的“次修补”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述等级为“修补”的所述第一数据划分为“次修补”等级。 9.根据权利要求1所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述根据所述第一数据和所述第二数据的等级，将与所述第一数据和所述第二数据相对应的所述样品带入制造执行单元执行与所述等级相对应的操作的方法为：当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“合格”或“次合格”时，所述制造执行单元忽略与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品的缺陷；当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“修补”或“次修补”时，所述制造执行单元对与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品的缺陷执行修复操作；当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“重工”时，所述制造执行单元将与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品执行重工操作；当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“报废”时，所述制造执行单元对与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品的缺陷执行报废操作。 10.一种缺陷判定装置，其特征在于，包括：自动拍摄单元，用于拍摄样品的缺陷照片；自动计算单元，用于根据所述缺陷照片计算缺陷数据及所述缺陷数据的置信度，所述缺陷数据包括缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸和缺陷像素；缺陷识别单元，包括第一数据规则表和第二数据规则表，所述缺陷识别单元根据所述第一数据规则表将置信度高于阈值的所述缺陷数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级，所述缺陷识别单元根据所述第二数据规则表将等级为“修补”的所述缺陷数据划分为“次合格”和“次修补”两个等级；数据复检单元，用于将置信度低于阈值的所述缺陷数据进行复检，并将所述置信度低于阈值的所述缺陷数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级；制造执行单元，根据所述缺陷数据的等级，对与所述缺陷数据相对应的所述样品执行与所述等级相对应的操作。
所属类别：	发明专利