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原文传递一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统

专利名称：	一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统
摘要：	本发明公开了一种阵列基板缺陷判定方法、处理器及判定系统，该方法包括：实时获取待判别阵列基板当前扫描区域的表面图像数据；对获取到的表面图像数据进行处理，确定阵列基板存在的缺陷与扫描时间的对应关系；根据缺陷与扫描时间的对应关系、预存储的扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定阵列基板中存在缺陷的类型。上述方法可以根据实时获取待判别阵列基板当前扫描区域的表面图像数据，确定阵列基板中存在缺陷的类型，无需工程师进行人为判定，节约了缺陷判定时间，根据判定结果可以及时对缺陷进行处理，避免大量的经济损失。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	京东方科技集团股份有限公司
发明人：	邹克;何林峰;胡岩;韩明昆;袁洪光;张科;冯星;冯鹏
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-02T00:00:00+0800
申请号：	CN201910287502.X
公开号：	CN109959666A
代理机构：	北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人：	郭润湘
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
主权项：	1.一种阵列基板缺陷判定方法，其特征在于，包括：实时获取待判别阵列基板当前扫描区域的表面图像数据；对获取到的所述表面图像数据进行处理，确定所述阵列基板存在的缺陷与扫描时间的对应关系；根据所述缺陷与所述扫描时间的对应关系、预存储的所述扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定所述阵列基板中存在缺陷的类型。 2.如权利要求1所述的阵列基板缺陷判定方法，其特征在于，当获取的表面图像数据为一个图像采集器按预设周期获取的表面图像数据时，根据所述缺陷与所述扫描时间的对应关系、预存储的所述扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定所述阵列基板中存在缺陷的类型，具体包括：当相邻奇数个周期或相邻偶数个周期内相同的时间段存在同样的缺陷聚集时，则确定所述阵列基板在与扫描方向垂直的方向存在聚集缺陷；当在同一周期内所述缺陷存在的时长大于第一阈值时，则确定所述阵列基板在扫描方向上存在聚集缺陷。 3.如权利要求1所述的阵列基板缺陷判定方法，其特征在于，当获取的表面图像数据为多个图像采集器同时获取的表面图像数据时，根据所述缺陷与所述扫描时间的对应关系、预存储的所述扫描时间与扫描位置的对应关系以及预存储的缺陷类型规则，确定所述阵列基板中存在缺陷的类型，具体包括：当各所述图像采集器所扫描的区域同时被确定存在缺陷时，则确定所述阵列基板在与扫描方向垂直的方向存在聚集缺陷；当各所述图像采集器所扫描的区域逐个被确定存在缺陷聚集时，则确定所述阵列基板在与扫描方向存在夹角方向存在聚集缺陷；当所述图像采集器所扫描区域存在缺陷的连续时长大于第一阈值时，则确定所述阵列基板在扫描方向上存在聚集缺陷。 4.如权利要求2或3所述的阵列基板缺陷判定方法，其特征在于，当所述阵列基板在同一区域内存在任两个方向上的聚集缺陷时，则确定所述阵列基板存在簇状缺陷。 5.如权利要求1-3任一项所述的阵列基板缺陷判定方法，其特征在于，所述当前扫描区域的表面图像数据包括：当前扫描区域的表面灰度图。 6.如权利要求1-3任一项所述的阵列基板缺陷的判定方法，其特征在于，当所述阵列基板包括多个呈周期性排列的区域时，对获取到的所述表面图像数据进行处理，确定所述阵列基板存在的缺陷与扫描时间的对应关系，具体包括：将获取到的当前扫描区域的表面图像数据与相邻区域的表面图像数据进行对比；确定所述当前扫描区域的表面图像数据与所述相邻区域的表面图像数据的灰阶差异是否大于第二阈值；当确定所述当前扫描区域的表面图像数据与所述相邻区域的表面图像数据的灰阶差异大于所述第二阈值时，则确定所述区域存在缺陷；根据当前扫描时间，确定所述缺陷与所述扫描时间的对应关系。 7.如权利要求1-3任一项所述的阵列基板缺陷判定方法，其特征在于，所述方法还包括：将当前阵列基板上所存在的缺陷聚集与前一阵列基板上所存在的缺陷聚集进行对比；当两个所述阵列基板在相同位置出现相同类型的缺陷聚集时，向外部报警设备发送报警指令；当连续排列的至少两个阵列基板在相同的位置存在相同类型的缺陷时，则向报警设备发送报警指令，使所述报警设备报警。 8.一种处理器，其特征在于，包括程序代码，当所述程序代码在计算设备上运行时，所述程序代码用于使所述计算设备执行权利要求1-7任一项所述的阵列基板缺陷判定方法的步骤。 9.一种阵列基板缺陷判定系统，其特征在于，包括如权利要求8所述的处理器，以及图像采集器；所述图像采集器用于按预设规则扫描待判定阵列基板，并将获取的图像转换为灰度图提供给所述处理器。 10.如权利要求9所述的阵列基板缺陷判定系统，其特征在于，还包括：报警设备；所述报警设备用于根据所述处理器发送的报警指令进行报警。
所属类别：	发明专利