专利名称: |
一种膜上膜内缺陷的检测方法 |
摘要: |
本发明涉及光学检测技术领域,具体地指一种膜上膜内缺陷的检测方法。驱动缺陷扫描单元对透明的待测基板进行扫描,获取待测基板缺陷部分;将缺陷部分的最大或最小灰阶值与第一标准值进行对比,通过将两者的差值与设定值进行比较,判断该缺陷部分是位于膜内还是膜上。本发明通过待测基板和空气折射率不同这一基本原理,位于膜上和膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶图像,然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内,能够大幅度提高缺陷部位的检测效率,节约大量的时间,具有极大的推广价值。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
苏州精濑光电有限公司 |
发明人: |
郭连俊;杨慎东;颜圣佑 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201710675809.8 |
公开号: |
CN109387527A |
代理机构: |
武汉开元知识产权代理有限公司 42104 |
代理人: |
黄行军 |
分类号: |
G01N21/958(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
215214 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢 |
主权项: |
1.一种膜上膜内缺陷的检测方法,其特征在于:包括以下步骤:1)、驱动缺陷扫描单元(2)对沉积透明膜(3)的待测基板扫描,获取待测基板的缺陷部分的扫描影像;2)、将所述缺陷部分的最大灰阶值与第一标准值进行对比,若两者的差值小于第一设定值,则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷;若两者的差值大于第一设定值,则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷;或者,将所述缺陷部分的最小灰阶值与所述第一标准值进行对比,若两者的差值小于第二设定值,则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷;若两者的差值大于第二设定值,则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷。 |
所属类别: |
发明专利 |