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原文传递一种膜上膜内缺陷的检测方法

专利名称：	一种膜上膜内缺陷的检测方法
摘要：	本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的检测方法。驱动缺陷扫描单元对透明的待测基板进行扫描，获取待测基板缺陷部分；将缺陷部分的最大或最小灰阶值与第一标准值进行对比，通过将两者的差值与设定值进行比较，判断该缺陷部分是位于膜内还是膜上。本发明通过待测基板和空气折射率不同这一基本原理，位于膜上和膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶图像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，能够大幅度提高缺陷部位的检测效率，节约大量的时间，具有极大的推广价值。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州精濑光电有限公司
发明人：	郭连俊;杨慎东;颜圣佑
专利状态：	有效
申请号：	CN201710675809.8
公开号：	CN109387527A
代理机构：	武汉开元知识产权代理有限公司 42104
代理人：	黄行军
分类号：	G01N21/958(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	215214 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢
主权项：	1.一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：1)、驱动缺陷扫描单元(2)对沉积透明膜(3)的待测基板扫描，获取待测基板的缺陷部分的扫描影像；2)、将所述缺陷部分的最大灰阶值与第一标准值进行对比，若两者的差值小于第一设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷；若两者的差值大于第一设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷；或者，将所述缺陷部分的最小灰阶值与所述第一标准值进行对比，若两者的差值小于第二设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷；若两者的差值大于第二设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷。
所属类别：	发明专利