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一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器
| 专利名称： | 一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器，包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构，所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧，水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧，电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连，另一端与后端测量电路相连；所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极，内部两列探测电极为信号采集电极，外部两列探测电极为信号输入电极，本实用新型所公开的电导率传感器满足微型化的要求，化学稳定性高，抗生物附着能力强，稳定工作寿命长。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 发明人： | 郭风祥;盖志刚;张涛;惠超;张妹;邱慧敏;胡鼎;李恒;李正军;曹琳 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201820051113.8 |
| 公开号： | CN208568661U |
| 代理机构： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 |
| 代理人： | 刘娜 |
| 分类号： | G01N27/26(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 266000 山东省青岛市鳌山卫街道青岛蓝色硅谷核心区蓝色硅谷创业中心一期2号楼 |
| 主权项： | 1.一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器，其特征在于，包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构，所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧，水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧，电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连，另一端与后端测量电路相连；所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极，内部两列探测电极为信号采集电极，外部两列探测电极为信号输入电极。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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