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碳纳米管传感器的制作方法及其用途
| 专利名称： | 碳纳米管传感器的制作方法及其用途 |
| 摘要： | 本发明提供了一种碳纳米管传感器的制作方法及其用途，涉及触摸屏用碳纳米管传感器的制造领域，该碳纳米管传感器的制作方法，包括用等离子体刻蚀技术对设置于基材表面的碳纳米管层进行刻蚀，之后得到碳纳米管传感器，利用该制备方法缓解了碳纳米管传感器生产效率低和成本高的技术问题的技术问题，达到了提高生产效率和降低生产成本的技术效果。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖南;43 |
| 申请人： | 蓝思科技（长沙）有限公司 |
| 发明人： | 饶桥兵;易新荣;解耘天 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201710709689.9 |
| 公开号： | CN109406586A |
| 代理机构： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
| 代理人： | 齐海迪 |
| 分类号： | G01N27/22(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 410100 湖南省长沙市长沙经济技术开发区漓湘路99号 |
| 主权项： | 1.一种碳纳米管传感器的制作方法，其特征在于，包括用等离子体刻蚀技术对设置于基材表面的碳纳米管层进行刻蚀，之后得到碳纳米管传感器。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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