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一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置
| 专利名称： | 一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐、储料罐、气动阀和输送管道，所述脱泡罐于底部通过气动阀和输送管道与储料罐连接，还包括设于脱泡罐上表面并与脱泡罐内部连通的真空泵、设于脱泡罐下表面的超声振子、空压机、设于脱泡罐与储料罐上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀、模具、设于脱泡罐内部的搅拌机，以及空气管道。本实用新型公开的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置集ITO浆料的脱泡与注浆工序于一体，自动化程度高，极大程度地简化了操作，自动化控制比人工操作更加稳定、精准，有效减少了不良品的产生。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广东;44 |
| 申请人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 |
| 发明人： | 周传水;张玲莉;余永强;王友乐;柯尚文;李隽;康明锋;范家伟;董永亮 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201820987708.4 |
| 公开号： | CN208584655U |
| 代理机构： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 |
| 代理人： | 左恒峰 |
| 分类号： | B28B13/02(2006.01)I;B;B28;B28B;B28B13 |
| 申请人地址： | 528137 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南5号 |
| 主权项： | 1.一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐(2)、储料罐(4)、气动阀(8)和输送管道(13)，所述脱泡罐(2)于底部通过气动阀(8)和输送管道(13)与储料罐(4)连接，其特征在于：还包括设于脱泡罐(2)上表面并与脱泡罐(2)内部连通的真空泵(1)、设于脱泡罐(2)下表面的超声振子(3)、空压机(5)、设于脱泡罐(2)与储料罐(4)上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀(7)、模具(9)、设于脱泡罐(2)内部的搅拌机(10)，以及空气管道(14)，所述储料罐(4)通过气动阀(8)和输送管道(13)与模具(9)内部连通，所述空压机(5)通过空气管道(14)和气动阀(8)与脱泡罐(2)的顶部连接，所述空压机(5)通过空气管道(14)和气动阀(8)与储料罐(4)的顶部连接。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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