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原文传递一种离心成型装置以及ITO旋转靶材的制备方法

专利名称：	一种离心成型装置以及ITO旋转靶材的制备方法
摘要：	本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置，包括离心装置；与所述离心装置相连的电动机；与所述离心装置相连的抽真空装置；所述离心装置内设置有树脂模具；所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部，靠近电动机的部分为树脂模具后半部。本发明将注浆成型和离心成型相结合，提高了ITO旋转靶材的成型效率，解决了目前ITO旋转靶材生产过程中成型时间长、生产效率低、生产成本高等问题，可成型较大尺寸的ITO旋转靶材，有利于企业大规模、高效率制备ITO旋转靶材。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	福建阿石创新材料股份有限公司
发明人：	张科;陈钦忠;黄田奇;张瑜;李康
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201910689033.4
公开号：	CN110370426A
代理机构：	北京高沃律师事务所
代理人：	薛红凡
分类号：	B28B1/20(2006.01);B;B28;B28B;B28B1
申请人地址：	350200 福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里169号
主权项：	1.一种离心成型装置，其特征在于，包括离心装置；与所述离心装置相连的电动机；与所述离心装置相连的抽真空装置；所述离心装置内设置有树脂模具；所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部，靠近电动机的部分为树脂模具后半部。 2.根据权利要求1所述的离心成型装置，其特征在于，所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。 3.根据权利要求2所述的离心成型装置，其特征在于，所述超滤膜的材质为聚偏氟乙烯；所述超滤膜的厚度为1～3mm，所述超滤膜的渗孔直径小于10nm。 4.根据权利要求1所述的离心成型装置，其特征在于，所述离心装置包括离心前盖和离心后座，靠近电动机的部分为离心后座。 5.根据权利要求4所述的离心成型装置，其特征在于，所述树脂模具后半部设置有底座，所述底座的外部设置有十字凸起；所述离心后座设置有十字凹槽，与树脂模具后半部底座的十字凸起相匹配。 6.根据权利要求1所述的离心成型装置，其特征在于，所述树脂模具前半部设置有滚动轴承。 7.根据权利要求1所述的离心成型装置，其特征在于，还包括伸缩轴，所述伸缩轴设置于所述离心装置和电动机之间。 8.根据权利要求7所述的离心成型装置，其特征在于，还包括连轴节，所述连轴节设置于所述伸缩轴和电动机之间。 9.一种ITO旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)提供包含氧化锡和氧化铟的ITO浆料； (2)将所述ITO浆料加入权利要求1～8任一项所述的离心成型装置中，进行离心成型，得到ITO旋转靶材素坯； (3)在纯氧气氛中，对所述ITO旋转靶材素坯进行烧结处理，得到所述ITO旋转靶材。 10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述烧结处理包括依次进行的预烧结和高温烧结；所述预烧结的温度为170～200℃，所述预烧结的时间为1～3h；所述高温烧结的温度为1400～1600℃，所述高温烧结的时间为4～6h。
所属类别：	发明专利