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原文传递一种ITO旋转靶的注浆成型装置及方法

专利名称：	一种ITO旋转靶的注浆成型装置及方法
摘要：	本发明公开了一种ITO旋转靶的注浆成型装置及方法，所述ITO旋转靶的注浆成型装置，包括水平连接设置在旋转机构上且内部设置柱状型腔的外模，外模的左端为与柱状型腔相连通的开口端，外模的左端设置有密封端盖以及设置在密封端盖上的浆料输送管道；所述外模的柱状型腔内部设置有上部分布有排水毛细孔的内模以及部分设置在柱状型腔内部且部分活动穿过外模的推料机构；所述内模的内壁与密封端盖及推料机构形成成型模腔。本发明装置投资小，占地空间小，采用离心力及模具化学毛细作用，没有大的压力梯度，素坯均匀性、一致性好，内应力小，不易开裂，保证素坯成型的均匀性，利于脱模，提高了产品的质量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	河北惟新科技有限公司
发明人：	王玉军;王雪涛;杨建新;刘洪福;冯捆柱;宋蕊立
专利状态：	有效
申请日期：	2019-10-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-31T00:00:00+0800
申请号：	CN201911005063.5
公开号：	CN110625735A
分类号：	B28B1/26(2006.01);B;B28;B28B;B28B1
申请人地址：	050000 河北省石家庄市高新区长江大道238号宏昌科技园7号楼一层102、106、107室
主权项：	1.一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：包括水平连接设置在旋转机构上且内部设置柱状型腔的外模(5)，外模(5)的左端为与柱状型腔相连通的开口端，外模(5)的左端设置有用于将柱状型腔进行密封的密封端盖(2)以及设置在密封端盖(2)上用于向柱状型腔内注入制备好的ITO浆料的浆料输送管道(1)；所述外模(5)的柱状型腔内部设置有呈分体环形状且上部分布有多个排水毛细孔的内模(4)以及部分设置在柱状型腔内部且部分活动穿过外模(5)用于将成型后的旋转靶素坯(3)推出的推料机构；所述内模(4)的内壁与密封端盖(2)及推料机构形成用于在旋转机构离心作用下保证ITO浆料均匀分布至内模(4)内壁上的成型模腔。 2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述外模(5)的右端固定设置有法兰盘(6)，法兰盘(6)上开设有多个用于穿设将装置本体定位到旋转机构上的连接螺栓a的连接螺栓孔a(10)。 3.根据权利要求2所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述推料机构包括设置在柱状型腔内用于将内模(4)和成型后的旋转靶素坯(3)推出的顶出板(8)以及固定连接在顶出板(8)右端且依次活动穿过外模(5)和法兰盘(6)的顶出杆(7)，顶出杆(7)的另一端连接有推动机构。 4.根据权利要求3所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述推动机构为气缸推动机构或液压推动机构或丝杠滑轨推动机构。 5.根据权利要求3所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述柱状型腔的右端形成从左至右内径依次减小的锥台孔，顶出板(8)为与锥台孔相配装的锥台板。 6.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述浆料输送管道(1)上设置有用于控制浆料输送管道(1)通断的进料阀(9)。 7.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述旋转机构包括用于变频调节转速的变频器。 8.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置，其特征在于：所述内模(4)包括可拆卸拼接呈环形状的左内模(41)和右内模(42)。 9.一种ITO旋转靶的注浆成型方法，其特征在于：该方法基于权利要求1至8任一项所述的一种ITO旋转靶的注浆成型装置进行，包括以下具体步骤： S1、制备ITO浆料：采用化学共沉淀法制备的ITO粉体；在去离子水中加入分散剂、粘结剂，加入氨水调节PH值，加入消泡剂，混合均匀后倒入ITO粉体中，再球磨24h。 S2、ITO旋转靶的注浆成型装置的组装：将内模(4)套装入外模(5)的柱状型腔内，再通过密封端盖(2)将内模(4)密封定位至外模(5)的柱状型腔内，完成装置的组装；而后，将组装后的装置连接到旋转机构上，并保证连接后的装置呈水平状态； S3、浆料的注浆：打开进料阀(9)，将制备好的ITO浆料通过浆料输送管道(1)一次性注入到成型模腔内，完成注浆操作后，关闭进料阀(9)； S4、浆料的成型：启动旋转机构，变频调节转速，转速在30s内快速提高到600～2500r/min，之后保持转速稳定； ITO浆料的成型时间为5～15min，停止旋转机构，形成旋转靶素坯(3)； S5、旋转靶素坯(3)的脱模：将密封端盖(2)从外模(5)上拆卸下来，通过推料机构缓慢将内模(4)和旋转靶素坯(3)顶出，然后分开内模(4)，将旋转靶素坯(3)取出。 10.根据权利要求9所述的一种ITO旋转靶的注浆成型方法，其特征在于：经过步骤S1制备的ITO浆料固含量达到83％～85％，粘度为20～30mpa·s。
所属类别：	发明专利