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一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统
| 专利名称： | 一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统 |
| 摘要： | 本发明提供了一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统，系统包括缺陷检测模块，图像处理模块和缺陷分类模块，其中，缺陷检测模块主要是线阵视觉检测系统，实现衬底表面缺陷的全场检测；图像处理模块包括图像采集卡，计算机以及图像处理和特征提取等程序，实现采集衬底表面缺陷的全场图像，并提取缺陷的特征参数；缺陷分类模块是基于提取的缺陷特征参数进行分析，实现对衬底表面缺陷的分类。本发明作为一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统，不仅可实现对衬底衬底表面宏观缺陷的全场快速扫描测试，还可以对衬底表面宏观缺陷进行分类，该系统不局限于某一种衬底表面宏观缺陷的检测和分类，还可用于其他衬底表面宏观缺陷的检测和分类。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 福建;35 |
| 申请人： | 华侨大学 |
| 发明人： | 崔长彩;李子清;胡中伟;陆静;徐西鹏 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请号： | CN201811517416.5 |
| 公开号： | CN109540904A |
| 代理机构： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 |
| 代理人： | 张松亭;张迪 |
| 分类号： | G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 362000 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号 |
| 主权项： | 1.一种衬底表面宏观缺陷检测及分类系统，其特征在于包括：缺陷检测模块、图像处理模块和缺陷分类模块；所述缺陷检测模块包括光源、相机、载物台，所述光源发出的光照射在被测衬底样品表面；所述相机收集经被测样品反射回来的光并成像；所述图像处理模块，其特征在于包括：图像采集卡、计算机、图像处理程序，由所述图像采集卡采集的图像传输至所述计算机，再由所述图像处理程序对所述计算机中的图像进行处理并提取被测衬底样品表面缺陷的特征参数；所述缺陷分类模块，其特征在于包括对所述图像处理模块提取的衬底表面缺陷的特征参数进行归纳和分析，基于所提取的衬底表面缺陷的特征参数对衬底表面缺陷进行分类。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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