专利名称: |
一种片式元器件检测方法及系统 |
摘要: |
本发明提供一种片式元器件检测方法及系统,包括,根据第一预设扫描方式对目标片式元器件进行表面检测,得到第一扫描数据;根据第二预设扫描方式对所述目标片式元器件进行内部检测,得到第二扫描数据;根据所述第一扫描数据和所述第二扫描数据分析得到所述目标片式元器件的分析结果。避免了固封、研磨等剖面制备方法对元件内部结构的破坏,可以全面的观察其内部存在的缺陷,使得片式元器件的检测更为精确和方便。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
上海;31 |
申请人: |
国网上海市电力公司;工业和信息化部电子第五研究所 |
发明人: |
陈金涛;朱彬若;张垠;王新刚;江剑锋;朱铮;顾臻;赵舫;魏晓川;朱文君;王有亮;刘丽媛;何胜宗;彭泽亚 |
专利状态: |
有效 |
申请号: |
CN201811467410.1 |
公开号: |
CN109541032A |
代理机构: |
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
代理人: |
吴开磊 |
分类号: |
G01N29/06(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N29 |
申请人地址: |
200122 上海市浦东新区自由贸易试验区源深路1122号 |
主权项: |
1.一种片式元器件检测方法,其特征在于,包括:根据第一预设扫描方式对目标片式元器件进行表面检测,得到第一扫描数据;根据第二预设扫描方式对所述目标片式元器件进行内部检测,得到第二扫描数据;根据所述第一扫描数据和所述第二扫描数据分析得到所述目标片式元器件的分析结果。 |
所属类别: |
发明专利 |