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原文传递载流子浓度的测量方法及系统

专利名称：	载流子浓度的测量方法及系统
摘要：	本发明公开了一种载流子浓度的测量方法及系统，其中，该测量方法包括：放置含有NV色心的金刚石与待测样品；测量金刚石中NV色心的自发辐射速率；以及基于金刚石中NV色心的自发辐射速率，并根据金刚石中NV色心自发辐射速率与载流子浓度的标定关系曲线得到待测样品的载流子浓度。本公开的载流子浓度的测量方法在测量的过程中可以实现非侵入性实时测量，不破坏待测样品的电学性能，因此在测量过程中不影响载流子的浓度和空间分布。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	安徽;34
申请人：	中国科学技术大学
发明人：	李登峰;孙方稳;陈向东;李燊
专利状态：	有效
申请号：	CN201811421201.3
公开号：	CN109540858A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：	任岩
分类号：	G01N21/64(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
主权项：	1.一种载流子浓度的测量方法，其特征在于，包括：放置含有NV色心的金刚石与待测样品；测量金刚石中NV色心的自发辐射速率；以及基于金刚石中NV色心的自发辐射速率，并根据金刚石中NV色心自发辐射速率与载流子浓度的标定关系曲线得到待测样品的载流子浓度。
所属类别：	发明专利