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原文传递 X射线分析用信号处理装置及X射线分析用信号处理装置的调整方法
专利名称: X射线分析用信号处理装置及X射线分析用信号处理装置的调整方法
摘要: 本发明提供一种X射线分析用信号处理装置及X射线分析用信号处理装置的调整方法,能够高精度地进行时间常数的校正并使得用于进行该校正的调整工作简单且迅速。X射线分析用信号处理装置(100)的特征在于,具有差分电路(106),使用第一时间常数将X射线检测器(102)输出的信号转换为模拟信号的差分波;AD转换器(108),将所述模拟信号的差分波转换为数字信号的差分波;波形整形数字滤波器(116),使用第二时间常数对所述数字信号的差分波进行整形;直方图生成部(119),基于整形完毕的波形的至少两处区域的波峰值取得所述整形完毕的波形的特征值,生成表示每个所述特征值的取得频率的直方图。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 日本;JP
申请人: 株式会社理学
发明人: 多田勉;迫幸雄
专利状态: 有效
申请日期: 2018-07-12T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-02T00:00:00+0800
申请号: CN201880004182.6
公开号: CN110088605A
代理机构: 北京瑞盟知识产权代理有限公司
代理人: 刘昕;孟祥海
分类号: G01N23/2252(2006.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址: 日本国东京都昭岛市松原町3丁目9番12号
主权项: 1.一种X射线分析用信号处理装置,其特征在于,具有: 差分电路,使用第一时间常数将X射线检测器输出的信号转换为模拟信号的差分波; AD转换器,将所述模拟信号的差分波转换为数字信号的差分波; 波形整形数字滤波器,使用第二时间常数对所述数字信号的差分波进行整形;以及 直方图生成部,基于整形完毕的波形的至少两处区域的波峰值取得所述整形完毕的波形的特征值,生成表示每个所述特征值的取得频率的直方图。 2.根据权利要求1所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述直方图生成部具有波峰值测量部,该波峰值测量部在被整形后的所述波形的平坦部中至少测量第一区域及第二区域的波峰值,取得所述第一区域与所述第二区域的测量值的差量作为所述特征值; 当所述直方图的峰的能量偏离零值时,所述第一时间常数或所述第二时间常数通过软件控制被调整成该峰的能量为零值。 3.根据权利要求1所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述直方图生成部具有波峰值测量部,该波峰值测量部在被整形后的所述波形的平坦部中至少测量第一区域及第二区域的波峰值,取得所述第一区域与所述第二区域的测量值的差量作为所述特征值; X射线分析用信号处理装置还具有: 输出部,在所述直方图的峰的能量偏离零值时,输出表示该偏离的信息,以及 输入部,用户基于表示所述偏离的信息调整所述第一时间常数或所述第二时间常数。 4.根据权利要求2或3所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器将所述差分波整形为阶梯波, 所述波峰值测量部在所述阶梯波中包含的上升沿之后的平坦部中,测量所述第一区域及所述第二区域的波峰值的差量,取得该差量作为所述特征值。 5.根据权利要求2或3所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器在将所述差分波整形为阶梯波的基础上,基于具有规定的时间间隔的两处区域的波峰值的差量将所述阶梯波整形为梯形波; 所述波峰值测量部在所述梯形波的顶部或底部的任意一者的平坦部中,测量所述第一区域与所述第二区域的波峰值的差量,取得该差量作为所述特征值。 6.根据权利要求2或3所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器在将所述差分波整形为阶梯波的基础上,基于相邻的两处区域的波峰值的差量将所述阶梯波整形为三角波; 所述波峰值测量部在所述三角波的底部的平坦部中,测量所述第一区域与所述第二区域的波峰值的差量,取得该差量作为所述特征值。 7.根据权利要求2或3所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器在将所述差分波整形为阶梯波的基础上,对所述阶梯波使用第三时间常数进行差分,进而,至少进行一次积分而整形为高斯波; 所述波峰值测量部在所述高斯波的底部的平坦部中,测量所述第一区域和所述第二区域的波峰值的差量,取得该差量作为所述特征值。 8.根据权利要求1所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述直方图生成部具有波峰值测量部,该波峰值测量部测量被整形后的所述波形中包含的波峰值或阶梯高度,作为所述特征值而取得; 当所述直方图的峰的能量偏离规定值时,所述第一时间常数或所述第二时间常数通过软件控制被调整成该峰的能量为所述规定值。 9.根据权利要求1所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述直方图生成部具有波峰值测量部,该波峰值测量部测量被整形后的所述波形中包含的峰值或阶梯高度,作为所述特征值而取得; X射线分析用信号处理装置还具有: 输出部,在所述直方图的峰的能量偏离规定值时,输出表示该偏离的信息,以及 输入部,用户基于表示所述偏离的信息调整所述第一时间常数或所述第二时间常数。 10.根据权利要求8或9所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器将所述差分波整形为阶梯波, 所述波峰值测量部测量所述阶梯波中包含的夹着上升沿的第一区域及第二区域的波峰值的差量作为所述阶梯高度,作为所述特征值而取得。 11.根据权利要求8或9所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器在将所述差分波整形为阶梯波的基础上,基于具有规定的时间间隔的两处区域的波峰值的差量将所述阶梯波整形为梯形波, 所述波峰值测量部测量所述梯形波的顶部的第一区域与上升沿之前或下降沿之后的平坦部的第二区域的波峰值的差量作为所述阶梯高度,作为所述特征值而取得。 12.根据权利要求8或9所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器在将所述差分波整形为阶梯波的基础上,基于相邻的两处区域的波峰值的差量将所述阶梯波整形为三角波, 所述波峰值测量部测量包含所述三角波的峰的第一区域与峰位置之前或峰位置之后的平坦部的第二区域的波峰值的差量作为所述峰值,作为所述特征值而取得。 13.根据权利要求8或9所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波形整形数字滤波器在将所述差分波整形为阶梯波的基础上,对所述阶梯波使用第三时间常数进行差分,进而,至少进行一次积分而整形为高斯波; 所述波峰值测量部测量包含所述高斯波的峰的第一区域与峰位置之前或峰位置之后的平坦部的第二区域的波峰值的差量作为所述峰值,作为所述特征值而取得。 14.根据权利要求2~13中任一项所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述差分电路包含电容器和可变电阻器, 所述第一时间常数通过所述可变电阻器调整。 15.根据权利要求2~14中任一项所述的X射线分析用信号处理装置,其特征在于, 所述波峰值测量部还测量至少两处夹着被整形的所述波形中包含的上升沿的区域的波峰值的差量,作为X射线能量而取得。 16.一种X射线分析用信号处理装置的调整方法,其特征在于,包括以下步骤: 使用第一时间常数将X射线检测器输出的信号转换为模拟信号的差分波的步骤; 将所述模拟信号的差分波转换为数字信号的差分波的步骤; 使用第二时间常数对所述数字信号的差分波进行整形的步骤;以及 基于整形完毕的波形的至少两处区域的波峰值取得所述整形完毕的波形的特征值,生成表示每个所述特征值的取得频率的直方图的步骤。
所属类别: 发明专利
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