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原文传递一种检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件及方法

专利名称：	一种检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件及方法
摘要：	本发明公开了一种检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件及其制备方法。该检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件包括金属电极和四针状氧化锌晶须，所述四针状氧化锌晶须上的一根针状体与一金属电极连接，所述四针状氧化锌晶须上的另一根针状体与另一金属电极连接，其中，所述金属电极选用功函数为4.5‑5.1eV的金属。本发明通过直接将四针状氧化锌晶须上的两根针状体分别与两个金属电极相连，金属电极选用功函数为4.5‑5.1eV的金属以形成金属电极和四针状氧化锌晶须欧姆接触，能够直接在宏观条件下使用常规的检测仪器连接两个金属电极以对单个四针状氧化锌晶须的电导特性进行检测，检测在宏观条件下进行，操作方便。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京工业大学
发明人：	聂京凯;郭福;侯东;肖伟民
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910309783.4
公开号：	CN110095490A
代理机构：	北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人：	李静
分类号：	G01N23/2202(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	100124 北京市朝阳区平乐园100号
主权项：	1.一种检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件，其特征在于，包括金属电极和四针状氧化锌晶须，所述四针状氧化锌晶须上的一根针状体与一金属电极连接，所述四针状氧化锌晶须上的另一根针状体与另一金属电极连接，其中，所述金属电极选用功函数为4.5-5.1eV的金属。 2.根据权利要求1所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件，其特征在于，所述金属电极的材质选用金、银、铬或镍。 3.根据权利要求1或2所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件，其特征在于，所述还包括衬底和将所述金属电极粘附于所述衬底上的金属粘附层。 4.根据权利要求1-3任一所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的器件，其特征在于，所述四针状氧化锌晶须上的针状体与所述金属电极之间采用聚焦离子束焊接。 5.一种检测四针状氧化锌晶须电导特性的方法，其特征在于，包括：取衬底，在所述衬底上制备金属电极，所述金属电极的功函数与所述四针状氧化锌晶须相匹配；取四针状氧化锌晶须，选择所述四针状氧化锌晶须上的一根针状体与一所述金属电极连接，选择所述四针状氧化锌晶须上的另一根针状体与另一所述金属电极连接；所述金属电极分别与半导体伏安特性测试系统连接，以测定所述四针状氧化锌晶须的电导特性。 6.根据权利要求5所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的方法，其特征在于，还包括在衬底上光刻电极图案以制备所述金属电极的步骤。 7.根据权利要求6所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的方法，其特征在于，所述在衬底上光刻电极图案的步骤为：将所述衬底置于丙酮中超声清洗4-6min，烘干，在烘干后的衬底表面旋涂光刻胶，于85-105℃下烘干2-4min，经曝光、显影处理得到所述电极图案。 8.根据权利要求6或7所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的方法，其特征在于，所述制备金属电极的步骤为：在所述衬底上的电极图案表面蒸镀金属粘附层，并在所述金属粘附层的表面蒸镀金属电极，其中，蒸镀金属粘附层和金属电极的条件为：采用电子束在真空度低于1×10-6Torr条件下蒸镀，蒸镀速率为0.2-0.5nm/s。 9.根据权利要求6-8任一所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的方法，其特征在于，还包括采用丙酮超声清洗2-4min，剥离光刻胶的步骤。 10.根据权利要求5-9任一所述的检测四针状氧化锌晶须电导特性的方法，其特征在于，将所述四针状氧化锌晶须的针状体与所述金属电极连接的方法为：在真空度低于1×10-6Torr条件下，将所述四针状氧化锌晶须静电吸附至所述金属电极上的焊接位置，采用聚焦离子束焊接。
所属类别：	发明专利