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原文传递晶圆缺陷检测方法及装置

专利名称：	晶圆缺陷检测方法及装置
摘要：	本发明提供了一种晶圆缺陷检测方法及装置，属于半导体技术领域。晶圆缺陷检测方法包括：步骤1、将待测试的晶圆放置在第一位置，获取所述晶圆的第一红外扫描图像；步骤2、将所述晶圆旋转预设角度至第二位置，所述第二位置不同于所述第一位置，获取所述晶圆的第二红外扫描图像；步骤3、根据所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像确定所述晶圆的缺陷。本发明能够对晶圆进行缺陷检测，并能够识别出支撑相关的缺陷并且将该与支撑相关的缺陷造成的噪音予以消除。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	陕西;61
申请人：	西安奕斯伟硅片技术有限公司
发明人：	柳清超;文英熙;张婉婉;张雯;郭恺辰
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-08T00:00:00+0800
申请号：	CN201910646494.3
公开号：	CN110308182A
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司
代理人：	许静;张博
分类号：	G01N25/72(2006.01);G;G01;G01N;G01N25
申请人地址：	710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
主权项：	1.一种晶圆缺陷检测方法，其特征在于，包括：步骤1、将待测试的晶圆放置在第一位置，获取所述晶圆的第一红外扫描图像；步骤2、将所述晶圆旋转预设角度至第二位置，所述第二位置不同于所述第一位置，获取所述晶圆的第二红外扫描图像；步骤3、根据所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像确定所述晶圆的缺陷。 2.根据权利要求1所述的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤3包括：步骤31、判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像是否符合拟合条件，在所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像符合拟合条件时，转向步骤32；在所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像不符合拟合条件时，转向步骤2；步骤32、对所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像进行拟合，得到第三图像；步骤33、根据所述第三图像确定所述晶圆的缺陷。 3.根据权利要求1所述的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，获取所述晶圆的红外扫描图像包括：采用激光束对所述晶圆进行扫描，同时对透过所述晶圆的红外激光进行记录得到红外扫描图像。 4.根据权利要求2所述的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像是否符合拟合条件包括：利用感知哈希算法生成所述第一红外扫描图像的第一指纹字符串；利用感知哈希算法生成所述第二红外扫描图像的第二指纹字符串；比对所述第一指纹字符串和所述第二指纹字符串，在所述第一指纹字符串和所述第二指纹字符串的不相同的数据位不超过预设阈值时，判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像符合拟合条件；在所述第一指纹字符串和所述第二指纹字符串的不相同的数据位超过预设阈值时，判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像不符合拟合条件。 5.根据权利要求1所述的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，所述预设角度选自30°、60°、90°和180°。 6.一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，包括：红外扫描组件，用于将待测试的晶圆放置在第一位置，获取所述晶圆的第一红外扫描图像；将所述晶圆旋转预设角度至第二位置，所述第二位置不同于所述第一位置，获取所述晶圆的第二红外扫描图像；处理器，用于根据所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像确定所述晶圆的缺陷。 7.根据权利要求6所述的晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述处理器具体用于判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像是否符合拟合条件，在所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像符合拟合条件时，对所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像进行拟合，得到第三图像，根据所述第三图像确定所述晶圆的缺陷；在所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像不符合拟合条件时，控制所述红外扫描组件将所述晶圆重新旋转预设角度至第二位置，并获取所述晶圆的第二红外扫描图像。 8.根据权利要求6所述的晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述红外扫描组件包括：可旋转的工作台，所述工作台上设置有用以支撑晶圆的支撑件；设置在所述工作台第一侧的激光源，用于向所述工作台发射激光；位于所述激光源出光侧的准直器和偏振器；设置在所述工作台第二侧的分析器，用于对透过所述晶圆的红外激光进行记录得到红外扫描图像，所述第一侧和所述第二侧为所述工作台相背的两侧；位于所述分析器朝向所述工作台一侧的物镜。 9.根据权利要求7所述的晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述处理器具体用于利用感知哈希算法生成所述第一红外扫描图像的第一指纹字符串；利用感知哈希算法生成所述第二红外扫描图像的第二指纹字符串；比对所述第一指纹字符串和所述第二指纹字符串，在所述第一指纹字符串和所述第二指纹字符串的不相同的数据位不超过预设阈值时，判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像符合拟合条件；在所述第一指纹字符串和所述第二指纹字符串的不相同的数据位超过预设阈值时，判断所述第一红外扫描图像和所述第二红外扫描图像不符合拟合条件。 10.根据权利要求6所述的晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述预设角度选自30°、60°、90°和180°。
所属类别：	发明专利