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原文传递一种晶圆缺陷检测装置

专利名称：	一种晶圆缺陷检测装置
摘要：	本发明涉及了一种晶圆缺陷检测装置，包括测试台，所述测试台上设置有晶圆承载机构，所述晶圆承载机构上方设置有第一光源机构和影像机构，所述第一光源机构用于向所述晶圆提供光源，所述影像机构用于对所述晶圆拍摄影像，所述晶圆承载机构和所述影像机构之间设置有物镜，所述物镜的一侧设置有聚焦传感器，所述影像机构为红外CCD摄像机，所述晶圆承载机构为透光设置，位于所述晶圆承载机构下方设置有第二光源机构。本发明解决了现有的晶圆外观缺陷检测机台只能进行二维检测的技术问题，该晶圆缺陷检测装置不仅可以检测晶圆的表面状况，还可以检测晶圆的内部和背面的缺陷。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司
发明人：	胡绍璐
专利状态：	有效
申请号：	CN201811062018.9
公开号：	CN109239078A
代理机构：	苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295
代理人：	叶栋
分类号：	G01N21/88(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区19幢301室
主权项：	1.一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，包括测试台，所述测试台上设置有晶圆承载机构，所述晶圆承载机构上方设置有第一光源机构和影像机构，所述第一光源机构用于向所述晶圆提供光源，所述影像机构用于对所述晶圆拍摄影像，所述晶圆承载机构和所述影像机构之间设置有物镜，所述物镜的一侧设置有聚焦传感器，所述影像机构为红外CCD摄像机，所述晶圆承载机构为透光设置，位于所述晶圆承载机构下方设置有第二光源机构。
所属类别：	发明专利