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原文传递一种晶圆缺陷检测的方法和装置

专利名称：	一种晶圆缺陷检测的方法和装置
摘要：	本发明涉及一种晶圆缺陷检测的方法和装置。更具体地，本发明公开了一种为管芯确定管芯角的方法，包括在管芯的内部选取参考点；获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；以及第三节点被认为是管芯的管芯角。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	德淮半导体有限公司
发明人：	孙必胜;刘命江
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910336397.4
公开号：	CN110018181A
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	周阳君
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
主权项：	1.一种为管芯确定管芯角的方法，包括在管芯的内部选取参考点；获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；以及第三节点被认为是管芯的管芯角。 2.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点为管芯内的图形的顶点。 3.根据权利要求2所述的方法，其中所述图形为矩形。 4.根据权利要求1所述的方法，其中所述管芯为非矩形管芯。 5.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点被选取使得第一节点位于最外围的水平边内，而不位于水平边的延长线内。 6.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点被选取使得第二节点位于最外围的垂直边内，而不位于垂直边的延长线内。 7.根据权利要求1所述的方法，其中所述参考点被选取使得第一节点位于最外围的水平边内，而不位于水平边的延长线内；并且同时第二节点位于最外围的垂直边内，而不位于垂直边的延长线内。 8.一种晶圆检测装置，包括：照射组件，所述照射组件被配置为产生激光脉冲以扫描晶圆上的管芯；图像传感组件，所述图像传感组件被配置为接收从由所述晶圆上的管芯散射到各个不同角度范围内的辐射以形成辐射图像；以及观察和计算组件，所述观察和计算组件为晶圆上的管芯确定管芯角；其中所述观察和计算组件被配置为：在管芯的内部选取参考点；获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围的垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；第三节点被认为是管芯的管芯角。 9.根据权利要求8所述的晶圆检测装置，仅为晶圆上的选定的管芯确定管芯角。 10.根据权利要求8所述的晶圆检测装置，还包括用于调整管芯与照射组件对应位置关系的定位组件。
所属类别：	发明专利