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原文传递一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置

专利名称：	一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置
摘要：	本实用新型提供了一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，包括照明单元、无限远成像单元和相机单元；所述照明单元包括光源，从光源至检测目标产品的光路方向依次设有第一透镜、可调光阑、第二透镜和滤光片轮；所述无限远成像单元包括成像筒镜和无限远显微物镜，从检测目标产品至相机单元的光路上依次设有所述无限远显微物镜和成像筒镜。采用本实用新型，能够在非接触的情况下对晶圆表面进行快速扫描，通过高分辨率图像分析，识别出晶圆表面的缺陷，包括裂纹、划痕、斑点、气泡等，提高了晶圆宏观缺陷的检测速率和准确率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京兆维电子(集团)有限责任公司
发明人：	李楠;刘欣;王爽;王馨莹;林涛;李军;张朝前
专利状态：	有效
申请日期：	2023-04-27T00:00:00+0800
发布日期：	2023-11-21T00:00:00+0800
申请号：	CN202320989980.7
公开号：	CN220063797U
代理机构：	北京轻创知识产权代理有限公司
代理人：	何佩英
分类号：	G01N21/01;G01N21/95;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/01;G01N21/95
申请人地址：	100015 北京市朝阳区酒仙桥路14号
主权项：	1.一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：包括照明单元（1）、无限远成像单元（2）和相机单元（3），所述照明单元（1）与检测目标产品（4）对应布置并向检测目标产品（4）上照射光线，所述无限远成像单元（2）设于相机单元（3）与检测目标产品（4）之间，所述检测目标产品（4）反射的光线经过无限远成像单元（2）并成像于相机单元（3）；所述照明单元（1）包括光源（11），从光源（11）至检测目标产品（4）的光路方向依次设有第一透镜（12）、可调光阑（13）、第二透镜（14）和滤光片轮（15）；所述无限远成像单元（2）包括成像筒镜（22）和无限远显微物镜（21），从检测目标产品（4）至相机单元（3）的光路上依次设有所述无限远显微物镜（21）和成像筒镜（22）。 2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述滤光片轮（15）至检测目标产品（4）的光路上或检测目标产品（4）至无限远显微物镜（21）的光路上设有第一偏振片（23），所述无限远显微物镜（21）至成像筒镜（22）的光路上设有第二偏振片（24），第一偏振片（23）与第二偏振片（24）相互呈正交状态，第一偏振片（23）至第二偏振片（24）之间的光路上设有微分干涉棱镜（25）。 3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：还包括自动对焦传感器（28）、二向色镜（27），二向色镜（27）位于微分干涉棱镜（25）与成像筒镜（22）之间，自动对焦传感器（28）正对二向色镜（27）的反射光路；自动对焦传感器（28）与竖直运动机构信号连接并能控制竖直运动机构沿着无限远显微物镜（21）的光路方向运动，无限远显微物镜（21）安装在竖直运动机构上。 4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述第一偏振片（23）设于滤光片轮（15）至检测目标产品（4）的光路上。 5.根据权利要求1或4所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述滤光片轮（15）至检测目标产品（4）的光路上还设有第一分束镜（26），所述无限远显微物镜（21）设于光源（11）的光线经第一分束镜（26）反射至检测目标产品（4）的光路上，所述成像筒镜（22）设于检测目标产品（4）的光线经第一分束镜（26）透射至相机单元（3）的光路上。 6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述相机单元（3）包括直线运动机构（31）、黑白相机（32）和彩色相机（33），黑白相机（32）和彩色相机（33）设于直线运动机构（31）背离成像筒镜（22）一侧；直线运动机构（31）的运动方向垂直于成像筒镜（22）的光路方向，直线运动机构（31）的移动端沿自身运动方向包括三个工位，其中第一工位空置，第二工位装有第二分束镜（34），第三工位装有第一反射镜（35）；黑白相机（32）、彩色相机（33）中任一个正对成像筒镜（22）的光路，另一个正对第二分束镜（34）和第一反射镜（35）的反射光路。 7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述黑白相机（32）和彩色相机（33）为CMOS相机。 8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：还包括离轴光源（5），离轴光源（5）的光路朝向检测目标产品（4），离轴光源（5）的光路与无限远显微物镜（21）至检测目标产品（4）的光路的夹角为锐角。 9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述可调光阑（13）第一透镜（12）至第二透镜（14）的光路方向布置沿有两个；两个可调光阑（13）之间的光路上设有第二反射镜（16）。 10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，其特征在于：所述滤光片轮（15）包括红色、绿色和蓝色的滤光片。
所属类别：	实用新型