详情

原文传递一种晶圆双面宏观观测装置及系统

专利名称：	一种晶圆双面宏观观测装置及系统
摘要：	本发明公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统，涉及晶圆检测技术领域。包括：基座，基座上设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘，翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上，翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板；翻转盘上设有旋转盘，旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘，旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线，翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构；旋转盘上设有开合机构，开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板，按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上；翻转盘上开设有第一观察开口，旋转盘上开设有第二观察开口。减小了晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海新创达智能科技有限公司
发明人：	龚昱;詹翡纱;邱海洲
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-02T00:00:00+0800
申请号：	CN201910252497.9
公开号：	CN110082292A
代理机构：	上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	冯健强
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201306 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
主权项：	1.一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，包括：基座，所述基座上设有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板之间设有翻转盘，所述翻转盘通过连接轴连接于所述第一支撑板或所述第二支撑板上，所述翻转盘沿所述连接轴的轴线方向转动连接于所述第一支撑板与所述第二支撑板；所述翻转盘上设有旋转盘，所述旋转盘沿其轴线方向转动连接于所述翻转盘，所述旋转盘的轴线垂直于所述翻转盘的轴线，所述翻转盘上设有用于驱动所述旋转盘转动的旋转机构；所述旋转盘上设有开合机构，所述开合机构内设有用于将晶圆压紧于所述旋转盘的按压板，所述按压板沿所述旋转盘的周向方向设置于所述旋转盘上；所述翻转盘上开设有第一观察开口，所述旋转盘上开设有第二观察开口。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，所述第一支撑板和/或所述第二支撑板上设有用于驱动所述连接轴转动翻转机构，所述翻转机构包括：连接轮，所述连接轮设置于所述连接轴，所述连接轮的轴线与所述连接轴的轴线重合；翻转电机，所述翻转电机设置于所述第一支撑板或第二支撑板；电机轮，所述电机轮设置于所述翻转电机的输出端，所述电机轮的轴线平行于所述连接轮的轴线；连接皮带，所述连接皮带的一端套设于所述连接轮外侧，所述连接皮带的另一端套设于所述电机轮的外侧；所述翻转电机启动以带动所述连接轴沿其轴线方向转动。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于：所述翻转盘上设有定位销，所述定位销跟随所述翻转盘沿所述连接轴的轴线方向旋转；第一支撑板或所述第二支撑板上设有用于感应所述定位销的翻转原点传感器。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于：当所述翻转原点传感器感应到所述定位销时，所述翻转盘与所述水平面之间设有预设夹角；所述连接轴上设有复位齿轮，所述第一支撑板和/或所述第二支撑板上设有与所述连接齿轮啮合的编码连接轮，所述编码连接轮上设有编码器，所述编码器的轴线与所述编码连接轮的轴线重合。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，所述旋转机构包括：旋转齿轮，所述旋转齿轮设置于所述旋转盘的外侧；啮合齿轮，所述啮合齿轮设置于所述翻转盘上，所述啮合齿轮啮合于所述旋转齿轮；旋转电机，所述旋转电机连接于所述啮合齿轮，用于带动所述啮合齿轮沿其轴线方向旋转；所述旋转电机启动以带动所述旋转齿轮旋转。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，所述开合机构还包括：转动轴，所述转动轴水平设置于所述旋转盘上；转动杆，所述转动杆套设于所述转动轴上，所述转动杆沿所述转动轴的轴线方向转动连接于所述转动轴，所述按压板设置于所述转动杆远离所述转动轴的一端；扭簧，所述扭簧套设于所述转动轴的外侧，所述扭簧的一端抵接于所述旋转盘的外侧，所述扭簧的另一端抵接于所述转动杆或所述按压板，用于将所述按压板压向所述晶圆。 7.根据权利要求6所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，所述开合机构还包括连杆，所述连杆的一端铰接于所述按压板，所述连杆的另一端铰接于所述旋转盘；所述按压板铰接于所述转动杆；所述连杆、按压杆和转动杆形成平面四杆机构。 8.根据权利要求6所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于，所述翻转盘上还设有推拉机构，所述推拉机构包括：推块，所述推块用于抵接于所述转动杆；推拉电机，所述推拉电机沿所述旋转盘的轴线方向设置于所述翻转盘上，所述推拉电机启动以带动所述推块沿靠近或远离所述转动杆的方向运动。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆双面宏观观测装置，其特征在于：还包括晶圆传感器，所述晶圆传感器的发射端设置于所述旋转盘，所述晶圆传感器的接收端设置于所述翻转盘；当所述晶圆放置于所述旋转盘上时，所述晶圆传感器的发射端与接收端分别位于所述晶圆的两侧；所述晶圆传感器的发射端及接收端的连接线穿过所述旋转盘的中心。 10.一种晶圆双面宏观观测系统，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的一种晶圆双面宏观观测装置，还包括上位系统与手持端。
所属类别：	发明专利