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原文传递晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法

专利名称：	晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法
摘要：	该发明涉及一种晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法，其中所述晶圆切削机台包括：至少两种尺寸的切削片，用于对晶圆进行切削，且各切削片的切削宽度各不相同；转动头，包括用于朝向待切削的晶圆设置的第一面，所有切削片可拆卸的安装于所述第一面，且所述转动头能够绕一垂直于所述第一面的直线转动，从而改变切削晶圆的切削片。以上晶圆切削机台及晶圆边缘切削方法具有至少两个切削片，能够在同一机台内完成多种晶圆边缘切削需求，满足晶圆制程多样化的需求，提升机台效能。并且在切削时能够及时检测晶圆的边缘切削情况，只有切削后的晶圆边缘情况符合要求后才拿出，因此不会对后续的晶圆制程造成影响。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	芯盟科技有限公司
发明人：	余兴
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-08T00:00:00+0800
申请号：	CN201910630418.3
公开号：	CN110303609A
代理机构：	上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	孙佳胤
分类号：	B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼2129室
主权项：	1.一种晶圆切削机台，其特征在于，包括：至少两种尺寸的切削片，用于对晶圆进行切削，且各切削片的切削宽度各不相同；转动头，包括用于朝向待切削的晶圆设置的第一面，所有切削片可拆卸的安装于所述第一面，且所述转动头能够绕一垂直于所述第一面的直线转动，从而改变切削晶圆的切削片。 2.根据权利要求1所述的晶圆切削机台，其特征在于，还包括转动头驱动器，连接至所述转动头，用于驱动所述转动头转动，从而改变切削晶圆的切削片。 3.根据权利要求2所述的晶圆切削机台，其特征在于，还包括主驱动器，连接至所述转动头，用于驱动所述转动头移动，以改变所述切削片切削晶圆时的作用位置。 4.根据权利要求3所述的晶圆切削机台，其特征在于，还包括控制器，连接至所述转动头驱动器和所述主驱动器，用于控制所述切削片转动，使所需的一切削片切削晶圆的边缘，并控制所述转动头移动，以改变所述切削片切削晶圆时的作用位置。 5.根据权利要求4所述的晶圆切削机台，其特征在于，还包括：检测仪，连接至所述控制器，用于检测晶圆切削后的边缘情况，并将晶圆切削后的边缘情况传送给所述控制器。 6.根据权利要求5所述的晶圆切削机台，其特征在于，还包括：报警器，连接至所述控制器，用于在所述控制器判断晶圆切削后的边缘情况不符合切削要求时，根据所述控制器的控制发出警报。 7.根据权利要求1所述的晶圆切削机台，其特征在于，所述切削片的数目至少为3个，分别对应不同的切削宽度，且各切削片的长度方向相互平行。 8.一种晶圆边缘切削方法，其特征在于，使用如权利要求1至7中任一项所述的晶圆切削机台来切削晶圆，包括以下步骤：使用一切削片对晶圆边缘进行切削；检测切削后的晶圆边缘情况，并在晶圆边缘情况不符合切削要求时再次切削。 9.根据权利要求8所述的晶圆边缘切削方法，其特征在于，使用一切削片对晶圆边缘进行切削时，包括以下步骤：驱动所述转动头绕垂直于所述第一面的直线转动至目标切削片转动至与晶圆接触。 10.根据权利要求8所述的晶圆边缘切削方法，其特征在于，在检测切削后的晶圆边缘情况前，还包括以下步骤：清洗切削后的晶圆。 11.根据权利要求8所述的晶圆边缘切削方法，其特征在于，在晶圆边缘情况不符合切削要求时发出警报。 12.根据权利要求8所述的晶圆边缘切削方法，其特征在于，再次切削晶圆边缘时，手动调控切削晶圆所用的晶圆切削参数。
所属类别：	发明专利