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原文传递光学检测装置

专利名称：	光学检测装置
摘要：	本发明公开了一种光学检测装置，包括：照明系统、检测系统和控制系统；照明系统包括用于明场照明的第一光源、用于暗场照明的第二光源以及用作背光源的第三光源；控制系统包括光源控制子系统，光源控制子系统用于控制第一光源按照第一脉冲序列提供照明、第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及第三光源按照第三脉冲序列提供照明；第一脉冲序列、第二脉冲序列和第三脉冲序列的脉冲信号依次重复设置且不交叠；控制系统还包括检测控制子系统，检测控制子系统用于控制检测系统按照第四脉冲序列获取检测信号；第四脉冲序列的各脉冲信号分别在第一脉冲序列、第二脉冲序列以及第三脉冲序列的脉冲信号持续的时间内。如此，可降低检测耗时，降低成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州精濑光电有限公司
发明人：	李俊
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-09T00:00:00+0800
申请号：	CN201910464853.3
公开号：	CN110108720A
代理机构：	北京品源专利代理有限公司
代理人：	孟金喆
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	215125 江苏省苏州市吴中区郭巷街道吴淞路892号2幢
主权项：	1.一种光学检测装置，其特征在于，包括：照明系统、检测系统和控制系统；所述照明系统和所述检测系统分别与所述控制系统电连接；所述照明系统包括第一光源、第二光源以及第三光源；所述第一光源用于明场照明，所述第二光源用于暗场照明，所述第三光源用作背光源；所述控制系统包括光源控制子系统，所述光源控制子系统用于控制所述第一光源按照第一脉冲序列提供照明、控制所述第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及控制第三光源按照第三脉冲序列提供照明；所述第一脉冲序列包括多个第一脉冲信号，所述第二脉冲序列包括多个第二脉冲信号，所述第三脉冲序列包括多个第三脉冲信号，所述第一脉冲信号、所述第二脉冲信号、所述第三脉冲信号依次重复设置且不交叠；所述控制系统还包括检测控制子系统，所述检测控制子系统用于控制所述检测系统按照第四脉冲序列获取检测信号；所述第四脉冲序列的各脉冲信号分别在所述第一脉冲序列、所述第二脉冲序列以及所述第三脉冲序列的脉冲信号持续的时间内；所述检测系统包括信号获取子系统，所述信号获取子系统用于按照所述第四脉冲序列依次获取与所述第一脉冲序列、所述第二脉冲序列以及所述第三脉冲序列分别对应的所述检测信号。 2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述信号获取子系统包括线性扫描相机。 3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述检测系统还包括分光子系统，所述分光子系统用于将所述第一光源发出的光线分束出与所述信号获取子系统的光轴平行的同轴光线；所述同轴光线用于按照所述第一脉冲序列提供明场照明。 4.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述第二光源为沿所述信号获取子系统的光轴对称分布的光源。 5.根据权利要求4所述的光学检测装置，其特征在于，所述第二光源为环形光源。 6.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述第三光源的光线为平行光线，且所述平行光线的光束传播方向与所述信号获取子系统的光轴方向平行。 7.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述第一光源发出第一色光，所述第二光源发出第二色光，所述第三光源发出第三色光；所述第一色光、所述第二色光和所述第三色光的颜色各不相同。 8.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述控制系统包括驱动器、频闪控制器、图像采集卡以及数据处理器；所述驱动器与所述频闪控制器的输入端电连接，所述图像采集卡的控制端、所述第一光源的控制端、所述第二光源的控制端以及所述第三光源的控制端分别与所述频闪控制器的输出端电连接，所述图像采集卡的输入端与所述信号获取子系统电连接，所述图像采集卡的输出端与所述数据处理器电连接；所述驱动器用于向所述频闪控制器提供触发脉冲信号；所述频闪控制器用于根据所述触发脉冲信号提供所述第一脉冲序列至所述第一光源、提供所述第二脉冲序列至所述第二光源、提供第三脉冲序列至所述第三光源以及提供所述第四脉冲序列至所述图像采集卡；所述图像采集卡用于控制所述信号获取子系统按照第四脉冲序列获取检测信号，并将所述检测信号传输至数据处理器；所述数据处理器用于处理所述检测信号，并呈现检测结果。 9.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，还包括载台；所述第三光源位于所述载台背离所述信号获取子系统的一侧；所述载台背离所述第三光源的一侧表面用于承载待测样品；所述第二光源、所述第一光源和所述信号获取子系统均位于所述载台的同一侧，且依次远离所述载台设置。 10.根据权利要求9所述的光学检测装置，其特征在于，所述载台带动所述待测样品在垂直于所述信号获取子系统的光轴的平面内移动。
所属类别：	发明专利