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原文传递 一种大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床
专利名称: 一种大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床
摘要: 一种大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床,它包括底座(1)和安装有导丝组件的门形立柱(12),其特征是所述门形立柱(12)二侧的底座(1)上各安装有一个运丝部件(2),滑块安装在导轨上并由伺服电机驱动实现步进放丝或收丝;在底座(1)的中心安装有Y向人字型立柱(3),Y向人字型立柱(3)由Y向驱动机构(4)驱动作前后进给移动;在Y向人字型立柱(3)上安装有Z向滑板,Z向滑板由安装在Y向人字型立柱(3)上部的Z向驱动机构(5)驱动作上下移动,C轴驱动机构(6)上安装有工件夹持机构(7),C轴驱动机构(6)带动工件夹持机构(7)上的被加工工件作回转或摆动。本发明结构简单,制造方便,加工质量稳定可靠,效率高。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 泰州市晨虹数控设备制造有限公司
发明人: 徐晨影;华卫东
专利状态: 有效
申请日期: 2019-06-04T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-09T00:00:00+0800
申请号: CN201910481399.2
公开号: CN110103346A
代理机构: 南京天华专利代理有限责任公司
代理人: 瞿网兰
分类号: B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址: 225300 江苏省泰州市海陵区九龙镇龙园路212-2号
主权项: 1.一种大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床,它包括底座(1),底座(1)的中心安装有门形立柱(12),门形立柱(12)上安装有导丝组件,其特征是所述门形立柱(12)二侧的底座(1)上各安装有一个运丝部件(2),金刚石丝线从一侧的运丝部件引出经过导线组件后由另一侧的运丝部件收丝,运丝部件(2)安装在滑块上,滑块安装在导轨上并由伺服电机驱动实现步进放丝或收丝;在底座(1)的中心安装有Y向人字型立柱(3),Y向人字型立柱(3)由Y向驱动机构(4)驱动作前后进给移动;在Y向人字型立柱(3)上安装有Z向滑板,Z向滑板由安装在Y向人字型立柱(3)上部的Z向驱动机构(5)驱动作上下移动,Z向滑板上安装有C轴驱动机构(6),C轴驱动机构(6)上安装有工件夹持机构(7),C轴驱动机构(6)带动工件夹持机构(7)上的被加工工件作回转或摆动。 2.根据权利要求1所述的大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床,其特征是所述的运丝部件(2)由运丝主轴电机和丝筒组成,它们均安装在滑块上同步移动,滑块安装在导轨上并由丝杠驱动,丝杠由伺服电机驱动。 3.根据权利要求2所述的大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床,其特征是所述的丝筒上的金刚石丝线单导或多层缠绕,长度为1000-10000米。 4.根据权利要求1所述的大尺寸碳化硅晶片金刚石线切割机床,其特征是所述的导丝组件包括安装在门形立柱上的过渡导轮(8)、张紧轮(9)、张力检测轮(10)和主导轮(11)。
所属类别: 发明专利
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