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原文传递湿法刻蚀药液成分检测装置及方法

专利名称：	湿法刻蚀药液成分检测装置及方法
摘要：	本发明提供了一种湿法刻蚀药液成分检测装置及方法，所述湿法刻蚀药液成分检测装置包括：取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，用于将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；成分检测器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。本发明通过引入取样管路并在所述取样管路上设置成分检测器，实现了对湿法药液成分的实时监测；通过引入红外光谱分析，提高了药液成分检测的精度，使产品良率得到显著提升。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	长江存储科技有限责任公司
发明人：	王玉伟;顾立勋;苏界
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910393251.3
公开号：	CN110132882A
代理机构：	北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	陈敏
分类号：	G01N21/3577(2014.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
主权项：	1.一种湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，包括：取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，用于将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；成分检测器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。 2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于：所述成分检测器包括红外光谱检测器。 3.根据权利要求1所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于：所述取样管路的另一端也连接至湿法刻蚀设备，用于将所述取样管路中的所述药液导出至所述湿法刻蚀设备。 4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，还包括：循环泵，设置于所述取样管路上，用于将所述药液抽取至所述取样管路中；过滤器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行过滤；加热器，设置于所述取样管路上，用于对所述取样管路中的所述药液进行加热。 5.根据权利要求4所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于：所述循环泵设置于所述取样管路导入所述药液的一端与所述加热器之间的所述取样管路上；所述成分检测器设置于所述加热器与所述循环泵之间的所述取样管路上；所述过滤器设置于所述取样管路导出所述药液的一端与所述加热器之间的所述取样管路上。 6.根据权利要求1所述的湿法刻蚀药液成分检测装置，其特征在于，还包括监测分析模块，所述监测分析模块连接所述成分检测器，用于实时监测所述成分检测器的成分检测结果，并判断所述药液的成分是否符合规格。 7.一种湿法刻蚀系统，其特征在于，包括：湿法刻蚀装置，用于湿法刻蚀；权利要求1至6任意一项所提供的所述湿法刻蚀药液成分检测装置，所述湿法刻蚀药液成分检测装置安装于湿法刻蚀装置上。 8.一种湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一取样管路，所述取样管路的一端连接至湿法刻蚀设备，并将所述湿法刻蚀设备中的药液导入所述取样管路中；对所述取样管路中的所述药液进行成分检测。 9.根据权利要求8所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：对所述取样管路中的所述药液进行成分检测的方法包括红外光谱分析。 10.根据权利要求8所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：在对所述取样管路中的所述药液进行成分检测后，还包括通过所述取样管路的另一端将所述取样管路中的所述药液导出至所述湿法刻蚀设备的步骤。 11.根据权利要求10所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：在将所述取样管路中的所述药液导出至所述湿法刻蚀设备前，还包括对所述取样管路中的所述药液进行加热和过滤的步骤。 12.根据权利要求8所述的湿法刻蚀药液成分检测方法，其特征在于：在对所述取样管路中的所述药液进行成分检测后，还包括实时监测所述成分检测器的成分检测结果，并判断所述药液的成分是否符合规格的步骤。
所属类别：	发明专利