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原文传递微裂纹检测方法、装置、系统以及样品制备方法

专利名称：	微裂纹检测方法、装置、系统以及样品制备方法
摘要：	本申请涉及一种微裂纹检测方法、装置、系统以及样品制备方法。所述微裂纹检测方法包括分析待测样品的二次离子，获取待测样品内各组成成份的质谱特征峰信息以及各组成成份对应的空间分布信息；在各空间分布信息中提取与标准质谱特征峰信息相同的质谱特征峰信息对应的组成成份的空间分布信息，得到填充剂空间分布信息；标准质谱特征峰信息为填充剂内各成份的质谱特征峰信息；基于数据重构处理各填充剂空间分布信息，获取待测样品内的微裂纹的三维形貌图，能够通过二次离子分析微裂纹的空间分布得到完整的微裂纹的三维形貌图，通过三维形貌图可明确微裂纹的起源，并可准确获取微裂纹的延伸扩展路径，进而，实现准确表征微裂纹。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
发明人：	尧彬;王晓锋;赖灿雄;恩云飞;黄云;路国光
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-03T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-30T00:00:00+0800
申请号：	CN201910476251.X
公开号：	CN110186993A
代理机构：	广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：	周玲;曾旻辉
分类号：	G01N27/62(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	510610 广东省广州市天河区东莞庄路110号
主权项：	1.一种微裂纹检测方法，其特征在于，包括以下步骤：分析待测样品的二次离子，获取所述待测样品内各组成成份的质谱特征峰信息、以及各组成成份对应的空间分布信息；所述待测样品为微裂纹内填入了填充剂的样品；在各所述空间分布信息中，提取与标准质谱特征峰信息相同的所述质谱特征峰信息对应的组成成份的空间分布信息，得到填充剂空间分布信息；所述标准质谱特征峰信息为所述填充剂内各成份的质谱特征峰信息；基于数据重构处理各所述填充剂空间分布信息，获取所述待测样品内的微裂纹的三维形貌图。 2.根据权利要求1所述的微裂纹检测方法，其特征在于，在分析待测样品的二次离子的步骤之前，还包括步骤：向所述待测样品轰击一次离子，获取带电二次离子；依据质荷比对所述带电二次离子进行质谱分离，收集所述二次离子。 3.根据权利要求1所述的微裂纹检测方法，其特征在于，基于以下步骤获取所述标准质谱特征峰信息：收集所述填充剂在一次离子轰击下的填充剂二次离子；分析所述填充剂二次离子，获取所述标准质谱特征峰信息。 4.根据权利要求1至3任一项所述的微裂纹检测方法，其特征在于，所述质谱特征峰信息包括峰位置和峰强度。 5.一种应用于权利要求1至3任一项所述的微裂纹检测方法的样品制备方法，其特征在于，包括以下步骤：向初始样品的微裂纹内填入填充剂；对填入所述填充剂的所述初始样品进行干燥处理，得到待测样品。 6.根据权利要求5所述的样品制备方法，其特征在于，向初始样品的微裂纹内填入填充剂的步骤中：在真空环境下，向所述初始样品的微裂纹内填入所述填充剂。 7.一种微裂纹检测装置，其特征在于，包括：信息分析模块，用于分析待测样品的二次离子，获取所述待测样品内各组成成份的质谱特征峰信息、以及各组成成份对应的空间分布信息；所述待测样品为微裂纹内填入了填充剂的样品；信息提取模块，用于在各所述空间分布信息中，提取与标准质谱特征峰信息相同的所述质谱特征峰信息对应的组成成份的空间分布信息，得到填充剂空间分布信息；所述标准质谱特征峰信息为所述填充剂内各成份的质谱特征峰信息；图像构建模块，用于基于数据重构处理各所述填充剂空间分布信息，获取所述待测样品内的微裂纹的三维形貌图。 8.根据权利要求7所述的微裂纹检测装置，其特征在于，还包括：离子发射模块，用于向所述待测样品轰击一次离子，获取带电二次粒子；质量分析模块，用于依据质荷比对所述带电二次粒子进行质谱分离，获取所述二次离子。 9.一种微裂纹检测系统，其特征在于，包括飞行时间二次离子质谱仪，所述飞行时间二次离子质谱仪用于实现权利要求1至3任一项所述方法的步骤。 10.根据权利要求9所述的微裂纹检测系统，其特征在于，还包括显示器；所述显示器连接所述飞行时间二次离子质谱仪。
所属类别：	发明专利