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一种TEM样品以及制备TEM样品的方法
| 专利名称： | 一种TEM样品以及制备TEM样品的方法 |
| 摘要： | 本发明提供了一种TEM样品以及制备TEM样品的方法，包括：在待制备样品上形成保护层；沿所述保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄，并在其中一侧减薄至预设条件时，逐步缩小加工区域，以通过在墩子和薄区之间保留阶梯状的过渡区域来形成厚度均匀的薄区。由于墩子与薄区相连，且墩子位于薄区的两端，因此，通过保留阶梯状的过渡区域，可以逐步改变薄区边缘受到墩子拉力的受力点的位置，从而通过改变受力点位置可以减小薄区远离墩子的中间区域与靠近墩子的边缘区域的拉力差异，进而可以提高大范围薄区的均匀性，使得制备的TEM样品满足TEM自动拍图量测的要求。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 湖北;42 |
| 申请人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 发明人： | 邹锭 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-10-21T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-10T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201911001966.6 |
| 公开号： | CN110554063A |
| 代理机构： | 北京集佳知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 杨华 |
| 分类号： | G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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