详情

原文传递一种TEM样品及其制备方法

专利名称：	一种TEM样品及其制备方法
摘要：	本发明提供了一种TEM样品及其制备方法，包括：提供待制备样品；在所述待制备样品的目标区域的顶部形成第一保护层；在所述待制备样品的底部形成第二保护层；沿所述第一保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄，以形成包含所述目标区域的薄区以及位于所述薄区两侧的墩子。由于在待制备样品的底部形成了第二保护层，因此，在沿所述第一保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄的过程中，底部的第二保护层使得样品底部有了结构支撑，从而可以抑制样品底部的卷曲和形变，减弱窗帘效应对TEM样品均匀性的影响。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	长江存储科技有限责任公司
发明人：	邹锭
专利状态：	有效
申请日期：	2019-10-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201911012617.4
公开号：	CN110579495A
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	杨华
分类号：	G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	430074 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
所属类别：	发明专利