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原文传递生产TEM样品的方法

专利名称：	生产TEM样品的方法
摘要：	在生产TEM样品的方法中，物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11)，其中，当离子束被引导至待加工的表面(11)时，该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	德国;DE
申请人：	卡尔蔡司显微镜有限责任公司
发明人：	J.比伯格;S.伦格魏勒
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-29T00:00:00+0800
申请号：	CN201910306630.4
公开号：	CN110389144A
代理机构：	北京市柳沈律师事务所
代理人：	王蕊瑞
分类号：	G01N23/2202(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	德国耶拿
主权项：	1.一种使用粒子束系统来生产TEM样品的方法，该粒子束系统包括：离子束柱(25)和物体固持器(13)，其中，该物体固持器(13)包括基座元件(15)、第一元件(17)、第二元件(19)、第一致动器、以及第二致动器，其中，该第一致动器被配置用于使该第一元件(17)相对于该基座元件(15)围绕第一旋转轴线(21)旋转，其中，该第二致动器被配置用于使该第二元件(19)相对于该第一元件(17)围绕第二旋转轴线(23)旋转，并且其中，该第一旋转轴线(21)基本上垂直于该第二旋转轴线(23)定向；其中，该方法包括：将物体(3)紧固到该物体固持器(13)的第二元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)基本上垂直于该第二旋转轴线(23)布置；并且通过将该物体(3)抛光来生产该TEM样品，其中，抛光包括： -控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向，并且控制该第二致动器使得该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第一旋转位置； -当该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向、并且该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第一旋转位置时，将该离子束柱(25)产生的离子束引至该物体(3)； -控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向，并且控制该第二致动器使得该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第二旋转位置，其中，该第二旋转位置与该第一旋转位置不同；并且 -当该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)成掠入射(α)而定向、并且该第二元件(19)相对于该第一元件(17)具有围绕该第二旋转轴线(23)的第二旋转位置时，将该离子束柱(25)产生的离子束引至该物体(3)。 2.根据权利要求1所述的方法，其中，以这种方式将该物体(3)紧固到该第二元件(19)上并且实施该物体固持器(13)，使得该物体(3)与该第二元件(19)之间不存在可控的移动自由度。 3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，该物体固持器(13)被实施成使得该第二元件(19)与该第一元件(17)之间不存在进一步可控的旋转移动自由度。 4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中，该物体固持器(13)被实施成使得当该第一元件(17)围绕该第一旋转轴线(21)旋转时，该第二元件(19)围绕该第一旋转轴线(21)旋转，和/或其中，该物体固持器(13)被实施成使得当该第二元件(19)围绕该第二旋转轴线(23)旋转时，该第一元件(17)不围绕该第二旋转轴线(23)旋转。 5.根据权利要求1至4之一所述的方法，其中，该第一旋转位置与该第二旋转位置相差至少5°、优选地至少10°、和/或最多45°、优选地最多35°。 6.根据权利要求1至5之一所述的方法，其中，当该第二元件(19)从该第一旋转位置围绕该第二旋转轴线(23)旋转到该第二旋转位置上时，该离子束至少暂时被引导至该物体(3)。 7.根据权利要求1至5之一所述的方法，其中，当该第二元件(19)从该第一旋转位置围绕该第二旋转轴线(23)旋转到该第二旋转位置上时，该离子束不被引导至该物体(3)。 8.根据权利要求1至7之一所述的方法，进一步包括：使用该离子束柱产生的离子束(5)将该物体(3)与本体(1)至少部分地分开；将操纵器(7)附接到该部分地分开的物体(3)上；将紧固有该操纵器(7)的该物体(3)与该本体(1)完全分开；使用该操纵器(7)将该物体(3)从该本体(1)转移到该物体固持器(13)上；将该物体(3)紧固到该物体固持器(13)的第二元件(19)上之后，将该操纵器(7)从该物体(3)上拆下；使用该离子束柱(25)产生的离子束对紧固到该第二元件(19)上的该物体(3)进行减薄和/或执行抛光。 9.根据权利要求1至8之一所述的方法，其中，该物体(3)紧固到该第二元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)与该第二旋转轴线(23)之间的角度是至少80°、优选地至少85°、进一步优选地至少89°。 10.根据权利要求1至9之一所述的方法，其中，控制该第一致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)与待加工的该表面(11)围成最多10°的角(α)。 11.根据权利要求1至10之一所述的方法，其中，该方法在抛光该物体(3)之前进一步包括：调整该基座元件(15)使得该第一旋转轴线(21)基本上垂直于该离子束柱(25)的主轴线(29)定向。 12.根据权利要求1至11之一所述的方法，其中，该粒子束系统还包括电子束柱(27)，其中，该电子束柱(27)的主轴线(31)和该离子束柱(25)的主轴线(29)基本上位于共同平面上并且穿过共同工作区域；其中，该方法在抛光该物体(3)之前还包括：调整该基座元件(15)使得该第一旋转轴线(21)基本上垂直于该共同平面定向。 13.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：将该电子束柱(27)产生的电子束引导至该物体(3)并且检测来自该物体(3)的电子。 14.根据权利要求1至13之一所述的方法，其中，该物体固持器(13)包括被配置用于将该第二元件(19)相对于该基座元件(15)在至少两个不同方向上平移的至少一个进一步致动器；并且其中，该方法还包括：控制该物体固持器(13)的至少一个进一步致动器使得该离子束柱(25)的主轴线(29)穿过该物体(3)。
所属类别：	发明专利