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一种可同时测量氢气和甲烷的PCF-SPR结构传感器
| 专利名称： | 一种可同时测量氢气和甲烷的PCF-SPR结构传感器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种可同时测量氢气和甲烷的PCF‑SPR结构传感器，由宽带光源，光衰减器，气室，PCF‑SPR传感器和光谱仪组成。PCF‑SPR传感器的截面有直径1.5微米的较小气孔沿45度和135度的角度排列，四个直径5微米的超大气孔垂直和水平分布，其中两个超大型侧孔内表面分别涂有由金和钯‑WO3复合薄膜制成的氢敏薄膜，以及由金和紫外光固化氟硅氧烷纳米膜制成的甲烷敏感膜。气体传感通道在不同波长下引起不同的峰值偏移，通过结构参数优化，结合侧孔结构和极化过滤，可以准确测量甲烷和氢气的气体混合物，而不会相互干扰，PCF‑SPR结构传感器具有良好的多通道气体传感重复性，选择性检测方法可用于气体和其他传感应用，具有良好的应用前景。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 中国计量大学 |
| 发明人： | 沈常宇;张崇;宫佳琦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-07-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-09-10T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910680376.4 |
| 公开号： | CN110220868A |
| 分类号： | G01N21/41(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号中国计量大学 |
| 主权项： | 1.一种可同时测量氢气和甲烷的PCF-SPR结构传感器，由宽带光源（1），光衰减器（2），气室（3），PCF-SPR传感器（4），进气口（5），出气口（6）和光谱仪（7）组成；其特征在于：宽带光源（1）出射的光经光衰减器（2）进入置于气室（3）中的PCF-SPR传感器（4）左端，待检测的氢气甲烷等混合气体由进气口（5）通入，PCF-SPR传感器（4）的右端连接光谱仪（7）进行实时监测，PCF-SPR传感器（4）的截面有直径1.5微米的较小气孔沿45度和135度的角度排列，四个5微米的超大气孔垂直和水平分布，其中包层中的两个超大型侧孔内表面分别涂有金和钯-WO3复合薄膜（8）构成的氢敏感膜，以及金和紫外光固化氟硅氧烷纳米膜（9）构成的甲烷敏感膜，敏感膜的折射率随气体浓度线性变化，因此气体传感通道会在不同波长处引起不同的峰值漂移，通过使用光谱仪（7）观察光谱响应，目标气体的浓度可以从测量的敏感膜的折射率得出，所提出的传感器具有更高的灵敏度和线性度，并且可以检测气体混合物而不会相互干扰。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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