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原文传递一种方形件的夹持装置及搬运系统

专利名称：	一种方形件的夹持装置及搬运系统
摘要：	本发明公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件，所述夹持装置包括：框架，所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨；第一气缸，所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧；第二气缸，所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧；左臂；以及右臂。本发明的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动，再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海提牛机电设备有限公司
发明人：	李杰;葛林海;丁高生;陈景韶;葛林新
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910440298.0
公开号：	CN110203683A
代理机构：	上海智力专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	周涛
分类号：	B65G47/90(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	201405 上海市奉贤区堂富路88号101室
主权项：	1.一种方形件的夹持装置，其特征在于，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件(5)，所述夹持装置包括：框架(6)，所述框架(6)中固定设置有水平状态的第一滑轨(611)、第二滑轨；第一气缸(612)，所述第一气缸(612)的主体滑动设置在所述第一滑轨(611)上，所述第一气缸(612)的活塞固定连接在所述框架(6)上，所述第一气缸(612)的活塞位于所述第一气缸(612)的主体的左侧；第二气缸(621)，所述第二气缸(621)的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸(621)的活塞固定连接在所述框架(6)上，所述第二气缸(621)的活塞位于所述第二气缸(621)的主体的右侧；左臂(7)，所述左臂(7)与所述第一气缸(612)的主体固定连接，所述左臂(7)上设置有与所述方形件(5)轮廓相配合的左侧凹槽部件(73)；以及右臂(8)，所述右臂(8)与所述第二气缸(621)的主体固定连接，所述右臂(8)上设置有与所述方形件(5)轮廓相配合的右侧凹槽部件(83)；其中，所述左臂(7)、右臂(8)设置在所述框架(6)的同一侧，所述左侧凹槽部件(73)、右侧凹槽部件(83)高度相等，用来自左右两侧夹持所述方形件(5)。 2.根据权利要求1所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述左臂(7)包括第一水平臂(71)和第一竖直臂(72)，所述第一水平臂(71)的一端固定连接于所述第一气缸(612)的主体，所述第一水平臂(71)的另一端与所述第一竖直臂(72)固定连接，所述第一竖直臂(72)上靠近所述第一气缸(612)的一侧固定连接有所述左侧凹槽部件(73)。 3.根据权利要求2所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述右臂(8)包括第二水平臂(81)和第二竖直臂(82)，所述第二水平臂(81)的一端固定连接于所述第二气缸(621)的主体，所述第二水平臂(81)的另一端与所述第二竖直臂(82)固定连接，所述第二竖直臂(82)上靠近所述第二气缸(621)的一侧固定连接有所述右侧凹槽部件(83)。 4.根据权利要求3所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述框架(6)通过隔板分为上隔区(61)与下隔区(62)，所述上隔区(61)容置所述第一滑轨(611)、第一气缸(612)，所述下隔区(62)容置所述第二滑轨、第二气缸(621)。 5.根据权利要求4所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述框架(6)上设置有供所述第一水平臂(71)、第二水平臂(81)穿过的通孔。 6.一种方形件的搬运系统，其特征在于，所述搬运系统包括如权利要求1-5中任一所述的夹持装置，所述搬运系统还包括用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态的搬运翻转装置，所述搬运翻转装置包括：基座(1)；顶柱部件(2)，所述顶柱部件(2)具有多个支撑柱(21)，所述支撑柱(21)的底部固定连接在顶升气缸(22)的移动部上，所述顶升气缸(22)固定在所述基座(1)上，用来接过第一机械手供给来的水平方向的方形件(5)，所述方形件(5)中容置所述晶圆；夹具(3)，所述夹具(3)包括能够相互远离或者靠近的第一卡(31)、第二卡(32)，所述第一卡(31)、第二卡(32)靠近时能够夹紧所述方形件(5)，所述第一卡(31)、第二卡(32)分别固定连接在气压缸(33)的两端，所述夹具(3)中第二卡(32)所在的一端铰接连接在所述基座(1)上；以及旋转部件(4)，所述旋转部件(4)固定在所述基座(1)上，所述旋转部件(4)的转动部与所述夹具(3)中第二卡(32)所在的一端驱动连接，所述夹具(3)在所述旋转部件(4)的驱动下转动，使得所述夹具(3)能在水平方向和竖直方向之间切换，所述第一卡(31)在上、所述第二卡(32)在下，用来供第二机械手自左右两侧夹住所述方形件(5)；所述第二卡(32)上设置有卡槽(321)，所述卡槽(321)与所述方形件(5)的轮廓相匹配；所述顶柱部件(2)包括四个构成长方形的支撑柱(21)。 7.根据权利要求6所述的方形件的搬运系统，其特征在于，所述第二卡(32)包括左侧分卡(322)和右侧分卡(323)；所述夹具(3)还包括顶出部件(34)，所述顶出部件(34)包括顶杆(341)、第一连接板(342)、顶出气缸(343)，所述顶杆(341)设置在所述左侧分卡(322)和右侧分卡(323)两者之间，用来将所述方形件(5)顶出卡槽(321)，所述顶杆(341)固定连接在所述第一连接板(342)上，所述第一连接板(342)与第二卡(32)分别固定连接在所述顶出气缸(343)的两端；所述夹具(3)还包括载板(35)，所述载板(35)支撑所述第一卡(31)、第二卡(32)，所述顶出部件(34)还包括第一导轨(344)，所述第一导轨(344)滑动设置在所述载板(35)内，所述第一导轨(344)固定连接在所述第一连接板(342)上；所述夹具(3)还包括第二连接板(36)、第二导轨(37)，所述第二连接板(36)与所述第一卡(31)固定连接，所述第二导轨(37)滑动设置在所述载板(35)内，所述第二导轨(37)与所述第二连接板(36)固定连接。 8.根据权利要求6所述的方形件的搬运系统，其特征在于，在长方形斜角线上的两个支撑柱(21)内设置有传感器(23)，所述传感器(23)判断所述顶柱部件(2)将所述方形件(5)自所述第一机械手上顶起后，所述方形件(5)定位是否正确；所述旋转部件(4)为旋转电机。
所属类别：	发明专利