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原文传递一种方形件的搬运翻转装置

专利名称：	一种方形件的搬运翻转装置
摘要：	本发明公开了一种方形件的搬运翻转装置，用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态，所述搬运翻转装置包括：基座；顶柱部件，所述顶柱部件具有多个支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接在顶升气缸的移动部上，所述顶升气缸固定在所述基座上，用来接过第一机械手供给来的水平方向的方形件，所述方形件中容置所述晶圆；夹具，所述夹具包括能够相互远离或者靠近的第一卡、第二卡，所述第一卡、第二卡靠近时能够夹紧所述方形件，所述第一卡、第二卡分别固定连接在气压缸的两端，所述夹具中第二卡所在的一端铰接连接在所述基座上；以及旋转部件。本发明的有益效果为承接高精度方形件的搬运，且将方形件由水平状态翻转为竖直状态。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海提牛机电设备有限公司
发明人：	葛林新;李杰;葛林海;丁高生;陈景韶
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910439639.2
公开号：	CN110203698A
代理机构：	上海智力专利商标事务所(普通合伙)
代理人：	周涛
分类号：	B65G49/07(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	201405 上海市奉贤区堂富路88号101室
主权项：	1.一种方形件的搬运翻转装置，其特征在于，用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态，所述搬运翻转装置包括：基座（1）；顶柱部件（2），所述顶柱部件（2）具有多个支撑柱（21），所述支撑柱（21）的底部固定连接在顶升气缸（22）的移动部上，所述顶升气缸（22）固定在所述基座（1）上，用来接过第一机械手供给来的水平方向的方形件（5），所述方形件（5）中容置所述晶圆；夹具（3），所述夹具（3）包括能够相互远离或者靠近的第一卡（31）、第二卡（32），所述第一卡（31）、第二卡（32）靠近时能够夹紧所述方形件（5），所述第一卡（31）、第二卡（32）分别固定连接在气压缸（33）的两端，所述夹具（3）中第二卡（32）所在的一端铰接连接在所述基座（1）上；以及旋转部件（4），所述旋转部件（4）固定在所述基座（1）上，所述旋转部件（4）的转动部与所述夹具（3）中第二卡（32）所在的一端驱动连接，所述夹具（3）在所述旋转部件（4）的驱动下转动，使得所述夹具（3）能在水平方向和竖直方向之间切换，所述第一卡（31）在上、所述第二卡（32）在下，用来供第二机械手自左右两侧夹住所述方形件（5）。 2.根据权利要求1所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述第二卡（32）上设置有卡槽（321），所述卡槽（321）与所述方形件（5）的轮廓相匹配。 3.根据权利要求2所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述第二卡（32）包括左侧分卡（322）和右侧分卡（323）。 4.根据权利要求3所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述夹具（3）还包括顶出部件（34），所述顶出部件（34）包括顶杆（341）、第一连接板（342）、顶出气缸（343），所述顶杆（341）设置在所述左侧分卡（322）和右侧分卡（323）两者之间，用来将所述方形件（5）顶出卡槽（321），所述顶杆（341）固定连接在所述第一连接板（342）上，所述第一连接板（342）与第二卡（32）分别固定连接在所述顶出气缸（343）的两端。 5.根据权利要求4所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述夹具（3）还包括载板（35），所述载板（35）支撑所述第一卡（31）、第二卡（32），所述顶出部件（34）还包括第一导轨（344），所述第一导轨（344）滑动设置在所述载板（35）内，所述第一导轨（344）固定连接在所述第一连接板（342）上。 6.根据权利要求5所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述夹具（3）还包括第二连接板（36）、第二导轨（37），所述第二连接板（36）与所述第一卡（31）固定连接，所述第二导轨（37）滑动设置在所述载板（35）内，所述第二导轨（37）与所述第二连接板（36）固定连接。 7.根据权利要求1所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述顶柱部件（2）包括四个构成长方形的支撑柱（21）。 8.根据权利要求7所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，在长方形斜角线上的两个支撑柱（21）内设置有传感器（23），所述传感器（23）判断所述顶柱部件（2）将所述方形件（5）自所述第一机械手上顶起后，所述方形件（5）定位是否正确。 9.根据权利要求8所述的方形件的搬运翻转装置，其特征在于，所述旋转部件（4）为旋转电机。
所属类别：	发明专利