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原文传递一种晶圆目检治具

专利名称：	一种晶圆目检治具
摘要：	本实用新型公开了一种晶圆目检治具，包括环形本体、支撑柱和固定环，复数个的支撑柱设置在环形本体上，固定环固定在环形本体的内环中并与环形本体形成凸台，环形本体具有至少一凹槽和一把柄。本实用新型能适用于不同的载体产品载物盘，提高目检效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	福建;35
申请人：	厦门市三安集成电路有限公司
发明人：	陈军;陈毅志;蔡文必
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-20T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201821913029.9
公开号：	CN209296595U
分类号：	G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	361100 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
主权项：	1.一种晶圆目检治具，其特征在于：包括环形本体、支撑柱和固定环，复数个的支撑柱设置在环形本体上，固定环固定在环形本体的内环中并与环形本体形成凸台，环形本体具有至少一凹槽和一把柄。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：支撑柱的数量为四个，支撑柱以环形本体的圆心为中心点对称排列。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：支撑柱的数量为三个，支撑柱以环形本体的圆心为中心点形成等腰三角形。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：把柄的数量为两个，把柄以环形本体的圆心为中心点，对称排列于环形本体上。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：治具由铁氟龙材料制得而成。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：在环形本体上设置卡槽和折叠盖，折叠盖覆盖卡槽，支撑柱固定在折叠盖上并容纳于卡槽中。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆目检治具，其特征在于：支撑柱为螺栓，在环形本体上设置螺纹孔，螺栓螺纹连接在螺纹孔中。
所属类别：	实用新型