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原文传递固定晶圆治具

专利名称：	固定晶圆治具
摘要：	本实用新型实施例公开了一种固定晶圆治具。本实用新型的固定晶圆治具，包括：基板、圆形海绵垫、第一载台、第一支撑柱、第二载台和第二支撑柱。第一载台呈圆环形具有第一圆形开口，通过第一支撑柱架设在基板的上方。第二载台呈圆环形具有第二圆形开口，通过第二支撑柱架设在基板的上方，且位于第一载台的上方。圆形海绵垫设置在基板上，位于第一圆形开口的下方，圆形海绵垫的面积大于第一圆形开口的面积，第二圆形开口的直径大于第一圆形开口的直径。本实用新型的固定晶圆治具，将晶圆背面朝上放置在相应的载台上，通过顶针将需要的芯片从晶圆上顶下来，操作方便，且可及时观察晶圆的背面崩缺情况，掌握晶圆的切割品质。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	紫光宏茂微电子(上海)有限公司
发明人：	杨江;张洪波;罗钞文;诸晨杰;孙庆永;庄峰;王丽君;李延庆
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201821832531.7
公开号：	CN209148525U
代理机构：	上海市嘉华律师事务所
代理人：	黄琮;傅云
分类号：	G01N21/01(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201700 上海市青浦区工业园区崧泽大道9688号
主权项：	1.一种固定晶圆治具，其特征在于，包括：基板、圆形海绵垫、第一载台、多根第一支撑柱、第二载台和多根第二支撑柱；所述第一载台呈圆环形并具有第一圆形开口，所述第一载台通过多根所述第一支撑柱架设在所述基板的上方；所述第二载台呈圆环形并具有第二圆形开口，所述第二载台通过多根所述第二支撑柱架设在所述基板的上方，且所述第二载台位于所述第一载台的上方；所述圆形海绵垫设置在所述基板的上表面上，位于所述第一圆形开口的下方，所述圆形海绵垫的面积大于所述第一圆形开口的面积；所述第二圆形开口的直径大于所述第一圆形开口的直径，且所述第二圆形开口在所述圆形海绵垫上的投影覆盖所述第一圆形开口在所述圆形海绵垫上的投影。 2.根据权利要求1所述的固定晶圆治具，其特征在于，所述第一载台水平设置，通过多根所述第一支撑柱固定在所述基板的上方；所述第二载台与所述第一载台相互平行设置，通过多根所述第二支撑柱固定在所述基板的上方；且所述第一载台与所述第二载台的轴心线重合。 3.根据权利要求2所述的固定晶圆治具，其特征在于，多根所述第一支撑柱的顶端凸出所述第一载台的顶面；多根所述第二支撑柱的顶端凸出所述第二载台的顶面。 4.根据权利要求3所述的固定晶圆治具，其特征在于，还包括：多个第一保护套和多个第二保护套；多个所述第一保护套分别套接在多根所述第一支撑柱的顶部；多个所述第二保护套分别套接在多根所述第二支撑柱的顶部。 5.根据权利要求1所述的固定晶圆治具，其特征在于，所述第一圆形开口的相对的两侧设有第一矩形缺口；所述第二圆形开口的相对的两侧设有第二矩形缺口。 6.根据权利要求1所述的固定晶圆治具，其特征在于，所述基板包括：基板本体、多根连接筋和圆环部；所述基板本体的中部设有通孔，所述圆环部位于所述通孔内，所述圆环部与所述基板本体通过多根所述连接筋连接，在所述基板中部形成多个镂空区域。 7.根据权利要求6所述的固定晶圆治具，其特征在于，多根所述连接筋的内侧表面低于外侧表面，在所述连接筋上形成台阶，所述圆形海绵垫卡接在所述台阶处。 8.根据权利要求1所述的固定晶圆治具，其特征在于，所述基板的相对的两侧设有把手。 9.根据权利要求1所述的固定晶圆治具，其特征在于，所述基板的底面设有防滑垫。 10.根据权利要求1所述的固定晶圆治具，其特征在于，还包括：多个第一调节螺母和多个第二调节螺母；多根所述第一支撑柱的上端设有外螺纹，多个所述第一调节螺母分别啮合在多根所述第一支撑柱上；多根所述第二支撑柱的上端设有外螺纹，多个所述第二调节螺母分别啮合在多根所述第二支撑柱上；所述第一载台设有多个第一通孔，所述第一通孔的孔径大于所述第一支撑柱的直径，多根所述第一支撑柱分别穿过多个所述第一通孔，使所述第一载台搁置在所述第一调节螺母上；所述第二载台设有多个第二通孔，所述第二通孔的孔径大于所述第二支撑柱的直径，多根所述第二支撑柱分别穿过多个所述第二通孔，使所述第二载台搁置在所述第二调节螺母上。
所属类别：	实用新型