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原文传递 晶圆框架载具
专利名称: 晶圆框架载具
摘要: 本实用新型公开了一种晶圆框架载具,包括一盒体。所述盒体由开口、顶板、底板、后板及两侧板所构成。其中每个侧板都包括一卡匣结构。且每个卡匣结构后方都设有一金属防撞部,以避免微小粒子的生成或置入晶圆框架时盒体因碰撞而受损。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 中国台湾;71
申请人: 家登精密工业股份有限公司
发明人: 潘咏晋;林志铭;邱铭乾
专利状态: 有效
申请日期: 2018-08-14T00:00:00+0800
发布日期: 2019-07-30T00:00:00+0800
申请号: CN201821302777.3
公开号: CN209177290U
代理机构: 深圳市舜立知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人: 侯艺
分类号: B65D85/30(2006.01);B;B65;B65D;B65D85
申请人地址: 中国台湾新北市土城区中央路4段2号9楼
主权项: 1.一种晶圆框架载具,其特征在于,包括: 一盒体,包括一开口、一顶板、一底板、一后板及两侧板共同形成的一容置空间; 二卡匣结构,设于所述容置空间中的两侧板上; 二金属防撞部,依序设于所述卡匣结构后方靠近所述后板的一侧; 以及 一门板,与所述开口盖合; 其中,所述二金属防撞部依序通过多个锁合组件固定于所述两侧板上。 2.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述门板上更设有一抵持部。 3.如权利要求2所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述抵持部包括: 一主板; 多个穿设孔,设于所述主板上,所述多个穿设孔为葫芦形; 多个支撑件,设于所述主板上;以及 多个卡合组件,穿过所述多个穿设孔后滑动卡合,将所述抵持部固定于所述门板上。 4.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述顶板靠近所述开口的一侧更设有一防变形件。 5.如权利要求4所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述防变形件为一金属条,且所述金属条上设有多个固定孔,多个固定组件穿过所述多个固定孔将所述金属条固定于所述顶板靠近所述开口的一侧。 6.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述后板上更设有至少一透明窗口。 7.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述顶板上更设有至少一提把。 8.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述门板上更设有至少一门闩。 9.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述多个锁合组件通过埋设于所述两侧板中的多个埋设组件固定所述二金属防撞部。 10.如权利要求9所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述二金属防撞部对应所述两侧板的外表面更设有多个气密肋条。
所属类别: 实用新型
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