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原文传递晶圆载具搬运管理方法及系统

专利名称：	晶圆载具搬运管理方法及系统
摘要：	本发明是一种晶圆载具搬运管理方法及系统，具体为一种用以管理晶圆载具搬运的搬运管理系统及方法。于接收一个第二晶圆载具的移出完成信息前，取得将于一部制造机台上处理的第一晶圆载具的识别码，发出带有第一晶圆载具的识别码的移入请求至一个搬运系统，从制造机台接收代表第二晶圆载具中的晶圆批处理完成的一个作业完成通知时，取得第二晶圆载具的一个目的地，以及发出一个带有目的地的移出请求至搬运系统。本发明所述晶圆载具搬运管理方法及系统，可降低闲置时间，进而增加制造机台的效能。
专利类型：	发明专利
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	张永政
专利状态：	有效
申请日期：	2005-04-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510067899.X
公开号：	CN1769152
代理机构：	北京林达刘知识产权代理事务所
代理人：	刘新宇
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
所属类别：	发明专利