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原文传递一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统

专利名称：	一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统
摘要：	本发明涉及半导体技术领域，具体为一种上下晶圆框架盒移动机构与晶圆送料系统，用于晶圆送料的过程中，包括滑轨、滑块、升降驱动机构以及承载结构，所述承载结构与所述滑块直接或间接固定连接；所述升降驱动机构用于驱动所述滑块沿着所述滑轨的长度方向做升降运动，以使得直接或间接连接于所述滑块的承载结构同步发生升降运动；所述承载结构上升后支撑于晶圆框架盒下侧，下降过程中承载晶圆框架盒同步下降，用于装载所述晶圆框架盒；利用滑块沿滑轨的长度方向进行升降运动，能够带动直接或间接连接滑块的承载结构进行同步升降运动，且带着晶圆框架盒进行同步运动，可避免底部悬空而带来的不平稳的情况，有效的提高了送料传输过程中的平稳性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海提牛机电设备有限公司
发明人：	葛威威;吴士勇;葛永恒;葛林四;韩鹏帅
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-25T00:00:00+0800
申请号：	CN201910571755.X
公开号：	CN110371669A
代理机构：	上海启核知识产权代理有限公司
代理人：	王仙子
分类号：	B65G49/07(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址：	201499 上海市奉贤区堂富路88号101室
主权项：	1.一种上下晶圆框架盒移动机构，用于晶圆送料的过程中，其特征在于：包括滑轨(8)、滑块(12)、升降驱动机构以及承载结构，所述承载结构与所述滑块(12)直接或间接固定连接；所述升降驱动机构用于驱动所述滑块(12)沿着所述滑轨(8)的长度方向做升降运动，以使得直接或间接连接于所述滑块(12)的承载结构同步发生升降运动；所述承载结构上升后支撑于晶圆框架盒(3)下侧，下降过程中承载晶圆框架盒(3)同步下降，用于装载所述晶圆框架盒(3)。 2.根据权利要求1所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述升降驱动机构包括驱动电机(9)、主动轮(6)、从动轮(7)、传动于所述主动轮(6)与从动轮(7)之间的同步皮带(5)；所述主动轮(6)与从动轮(7)相对于所述滑轨(8)的位置固定，所述滑块(12)能够随所述同步皮带(5)同步运动，所述驱动电机(9)用于直接或间接驱动所述主动轮(6)转动，以利用所述同步皮带(5)绕所述主动轮(6)与从动轮(7)的运动带动所述滑块(12)沿所述滑轨(8)长度方向做升降运动。 3.根据权利要求1所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述承载结构包括支撑平台(16)，设于所述支撑平台(16)的支撑座，以及与所述滑块(12)直接或间接固定连接的连接板(4)，所述晶圆框架盒(3)设置于所述支撑座，所述支撑平台(16)垂直安装于连接板(4)。 4.根据权利要求3所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述支撑座上安装有位置检测传感器(11)，用于实时检测所述承载结构相对于所述滑轨(8)的位置。 5.根据权利要求3或4所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述支撑座(16)由四块L型支撑块(17)构成，所述支撑块(17)固定安装于所述支撑平台(16)。 6.根据权利要求1或2所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：还包括固定板(2)，所述滑轨(8)直接或间接设于所述固定板(2)。 7.根据权利要求6所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述滑轨(8)形成于设置在所述固定板(2)上的滑轨基础板(1)。 8.根据权利要求1或2所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：所述滑轨(8)设有用以限制所述滑块(12)升降运动位置的限位部。 9.根据权利要求1、2或7任一项所述的一种上下晶圆框架盒移动机构，其特征在于：还包括电机调整架，所述电机调整架包括上调节块(10)、下调节块(13)以及与所述滑轨基础板(1)连接的驱动电机安装板(14)，所述上调节块(10)设于所述滑轨基础板(1)，所述下调节块(13)设于所述安装板(14)，利用上调节块(10)与下调节块(13)的配合，以调节驱动电机(9)相对于主动轮(6)的位置。 10.一种晶圆送料系统，其特征在于：包括权利要求1至9任一项所述的一种上下晶圆框架盒移动机构。
所属类别：	发明专利