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原文传递未接地样本的带电粒子束检查

专利名称：	未接地样本的带电粒子束检查
摘要：	本文公开了一种方法，包括：开始用第一束带电粒子对样本的区域预充电；在晚于开始对该区域预充电的时间，开始用第二束带电粒子对该区域成像；其中该区域电未接地。从该区域的图像中，可以标识缺陷。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	荷兰;NL
申请人：	ASML荷兰有限公司
发明人：	关键
专利状态：	有效
申请日期：	2017-12-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-23T00:00:00+0800
申请号：	CN201780078427.5
公开号：	CN110168355A
代理机构：	北京市金杜律师事务所
代理人：	王茂华
分类号：	G01N23/225(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	荷兰维德霍温
主权项：	1.一种方法，包括：开始用第一束带电粒子对样本的区域预充电；在晚于开始对所述区域预充电的时间，开始用第二束带电粒子对所述区域成像；其中所述区域是电未接地的。 2.根据权利要求1所述的方法，其中所述样本是纳米压印光刻模具。 3.根据权利要求1所述的方法，其中所述区域通过黑色边界而与所述样本的其他区域电隔离。 4.根据权利要求1所述的方法，其中所述样本是适合于极紫外光刻的图案化设备。 5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一束带电粒子和所述第二束带电粒子相同。 6.根据权利要求1所述的方法，其中开始对由所述区域涵盖的每个FOV预充电与开始对所述FOV成像之间的时间间隔是常数。 7.根据权利要求1所述的方法，其中对由所述区域涵盖的FOV预充电在时间上不连续。 8.根据权利要求1所述的方法，其中对由所述区域涵盖的FOV成像在时间上不连续。 9.根据权利要求1所述的方法，其中在所述区域的预充电期间，表示所述第一束和所述样本的相互作用的信号不被记录。 10.根据权利要求1所述的方法，其中在所述区域的成像期间，表示所述第二束和所述样本的相互作用的信号被记录。 11.根据权利要求10所述的方法，还包括：基于所述信号来形成所述区域的图像。 12.根据权利要求1所述的方法，其中在所述区域中的任何FOV被成像之前，所述区域的整体被预充电。 13.根据权利要求1所述的方法，其中在所述区域中的FOV的列中的任何FOV被成像之前，所述列中的所有FOV被预充电。 14.根据权利要求1所述的方法，其中在所述区域中的FOV中的另一FOV被预充电之前，所述区域中的所述FOV中的被预充电的每个FOV被成像。 15.一种计算机程序产品，包括具有记录在其上的指令的非暂态计算机可读介质，所述指令在由计算机执行时，实现根据权利要求1-14中的任一项所述的方法。
所属类别：	发明专利