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原文传递微粒数检测器

专利名称：	微粒数检测器
摘要：	提供一种微粒数检测器(10)，其具备陶瓷制的通气管(12)，在通气管(12)中具备：利用气体中放电而产生电荷的电荷产生元件(20)、电场产生电极(42)、捕集电极(44)、电场产生电极(52)、以及除去电极(54)。构成电荷产生元件(20)的诱电电极(24)埋设于通气管(12)。捕集用电场产生电极(42)及除去用电场产生电极(52)、捕集电极(44)、除去电极(54)、以及构成电荷产生元件(20)的放电电极(22)是沿着通气管(12)的内壁面而设置的。电荷产生元件(20)是沿着通气管(12)的内壁面而设置的。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	日本碍子株式会社
发明人：	水野和幸;奥村英正;菅野京一
专利状态：	有效
申请日期：	2018-01-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201880008199.9
公开号：	CN110214266A
代理机构：	北京旭知行专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	王轶;李伟
分类号：	G01N15/06(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	日本国爱知县
主权项：	1.一种微粒数检测器，其具备：陶瓷制的通气管；电荷产生元件，其具有利用气体中放电而产生电荷的一对电极，并使所述电荷附加于已被导入至所述通气管内的气体中的微粒，而成为带电微粒；捕集电极，其设置于所述通气管中的比所述电荷产生元件更靠向所述气体的流动的下游侧的位置，用于对所述带电微粒进行捕集；捕集用电场产生电极，其使所述捕集电极上产生电场；除去电极，其设置于所述通气管中的所述电荷产生元件与所述捕集电极之间的位置，用于将没有附加到所述微粒上的剩余的所述电荷除去；除去用电场产生电极，其使所述除去电极上产生电场；以及个数检测机构，其基于根据所述捕集电极所捕集到的所述带电微粒的数量而发生变化的物理量，来检测所述带电微粒的数量，构成所述电荷产生元件的所述一对电极中的一方、所述捕集电极、以及所述除去电极是沿着所述通气管的内壁面而设置的，构成所述电荷产生元件的所述一对电极中的另一方、所述捕集用电场产生电极、以及所述除去用电场产生电极是沿着所述通气管的内壁面而设置的，或者被埋设于所述通气管。 2.根据权利要求1所述的微粒数检测器，其中，沿着所述通气管的内壁面而设置的各电极借助无机材料而接合于所述通气管的内壁面。 3.根据权利要求1所述的微粒数检测器，其中，沿着所述通气管的内壁面而设置的各电极通过烧结而接合于所述通气管的内壁面。 4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，从所述气体的流动的上游侧朝向下游侧，隔开间隔地设置有多个所述捕集电极。 5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，所述个数检测机构基于赝电容器的静电容量，来检测所述带电微粒的数量，且该赝电容器由所述捕集用电场产生电极、所述捕集电极、以及所述通气管的内部空间构成。 6.根据权利要求1～4中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，所述捕集电极是：在表面侧电极与背面侧电极之间夹入了压电体之后而得到的压电振动器中的所述表面侧电极，所述个数检测机构基于根据所述表面侧电极所捕集到的所述带电微粒的数量而发生变化的共振频率，来检测所述带电微粒的数量。 7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的微粒数检测器，其中，所述通气管是：将截面为半圆形且陶瓷制的2个半开部件进行接合而形成为圆筒形状的部件。
所属类别：	发明专利