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原文传递显微角分辨光谱测量系统

专利名称：	显微角分辨光谱测量系统
摘要：	本发明公开了一种显微角分辨光谱测量系统，包括：外界光源、入光针孔、用于将外界光源的光引导至入光针孔的入光光纤、第一分光镜、可平移的第一透镜组件、物镜、第二分光镜、第一出光快门、第一出光针孔、可平移的第二透镜组件、第二出光快门、第二出光针孔、Y型光纤和光谱仪；显微角分辨光谱测量系统具有通过移动第一透镜组件实现不同角度的入射光对被测样品表面同位置的显微角分辨光谱测量的入射光角度调节测量模式和通过移动第二透镜组件实现被测样品发出的不同角度的光谱信息的显微角分辨光谱测量的接收光角度调节测量模式。本发明的有益之处在于，不需要移动光纤和针孔，系统稳定性高，仅用一台光谱仪实现两种角度模式的测量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	浙江;33
申请人：	杭州专谱光电技术有限公司
发明人：	陈阳杰;杨甬英;付艺伟;林陶君
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201910649870.4
公开号：	CN110274879A
代理机构：	杭州裕阳联合专利代理有限公司
代理人：	姚宇吉
分类号：	G01N21/25(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	310000 浙江省杭州市西湖区塘苗路18号华星现代产业园C座210
主权项：	1.一种显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，包括：外界光源、入光针孔、用于将所述外界光源的光引导至所述入光针孔的入光光纤、第一分光镜、可平移的第一透镜组件、物镜、第二分光镜、第一出光快门、第一出光针孔、可平移的第二透镜组件、第二出光快门、第二出光针孔、Y型光纤和光谱仪；所述入光光纤的两端连接所述外界光源和所述入光针孔；所述Y型光纤的三端分别连接所述光谱仪、所述第一出光针孔和所述第二出光针孔；所述显微角分辨光谱测量系统具有通过移动所述第一透镜组件实现不同角度的入射光对被测样品表面同位置的显微角分辨光谱测量的入射光角度调节测量模式和通过移动所述第二透镜组件实现被测样品发出的不同角度的光谱信息的显微角分辨光谱测量的接收光角度调节测量模式；在入射光角度调节测量模式时，所述第一出光快门打开且所述第二出光快门关闭，所述外界光源发出的光经过所述入光光纤、所述入光针孔、所述第一分光镜、所述第一透镜组件和所述物镜后到达被测样品表面，光谱信号再通过所述物镜、所述第一透镜组件、所述第一分光镜、所述第二分光镜、所述第一出光快门、所述第一出光针孔和所述Y型光纤到达所述光谱仪；在接收光角度调节测量模式时，所述第一出光快门关闭且所述第二出光快门打开，被测样品表面发出的不同角度的光谱信号通过所述物镜汇聚于所述物镜的后焦平面，所述物镜的后焦平面的像通过所述第一透镜组件、所述第一分光镜、所述第二分光镜、所述第二透镜组件、所述第二出光快门、所述第二出光针孔和所述Y型光纤到达所述光谱仪。 2.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，在接收光角度调节测量模式时；所述物镜的后焦平面的像通过所述第一透镜组件、所述第一分光镜、所述第二分光镜和所述第二透镜组件成像于第二焦平面；所述第二出光针孔设置于所述第二焦平面；在所述第二透镜组件移动时，所述第二焦平面的不同角度的光通过所述第二出光针孔。 3.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，在接收光角度调节测量模式时，所述第一透镜组件静止。 4.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，在入射光角度调节测量模式时；光谱信号通过所述物镜的后焦平面通过所述第一透镜组件、所述第一分光镜和所述第二分光镜成像于第一焦平面；所述第一出光针孔设置于所述第一焦平面。 5.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，所述显微角分辨光谱测量系统还包括：入光透镜组件；所述入光透镜组件设置于所述入光针孔和所述第一分光镜之间。 6.根据权利要求5所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，所述显微角分辨光谱测量系统还包括：入光快门；所述入光快门设置于所述入光透镜组件和所述第一分光镜之间；所述入光针孔、所述入光透镜组件、所述入光快门和所述第一分光镜沿直线排列。 7.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，所述显微角分辨光谱测量系统还包括：出光透镜组件；所述出光透镜组件设置于所述第一出光针孔和所述第一出光快门之间。 8.根据权利要求7所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，所述第一出光针孔、所述出光透镜组件、所述第一出光快门和所述第二分光镜沿直线排列。 9.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，所述第二出光针孔、所述第二出光快门、所述第二透镜组件和所述第二分光镜沿直线排列；所述第二透镜组件的平移方向垂直于该直线。 10.根据权利要求1所述的显微角分辨光谱测量系统，其特征在于，所述物镜、所述第一透镜组件、所述第一分光镜、所述第二分光镜、所述第一出光快门和所述第一出光针孔沿直线排列；所述第一透镜组件的平移方向垂直于该直线。
所属类别：	发明专利