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原文传递多晶粒光学检测设备

专利名称：	多晶粒光学检测设备
摘要：	本实用新型涉及一种多晶粒光学检测设备，包含有一平台、至少二探针装置组、至少二静电放电前置盒、以及设置于高于各探针装置的位置的一调针视觉模块和一收光模块。各探针装置组包含有二探针装置，各探针装置设于平台。各静电放电前置盒的设置位置均高于平台，且至少一静电放电前置盒至少部分位于一探针装置的正上方。由此，多晶粒光学检测设备的配置节省空间，且接设于静电放电前置盒与探针装置之间的线路短，因此讯号传输质量良好、设备配置简洁，并可提高检测效率。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	旺矽科技股份有限公司
发明人：	彭柏翰;林宏毅
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201822181035.6
公开号：	CN209387536U
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	关畅;王燕秋
分类号：	G01N21/84(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	中国台湾新竹县竹北市中和街155号
主权项：	1.一种多晶粒光学检测设备，其特征在于包含有：一平台；至少二探针装置组，各所述探针装置组包含有二探针装置，各所述探针装置设于所述平台；至少二静电放电前置盒，各所述静电放电前置盒的设置位置皆高于所述平台，且至少一所述静电放电前置盒至少部分位于一所述探针装置的正上方；一调针视觉模块及一收光模块，设置于高于各所述探针装置的位置。 2.如权利要求1所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：还包含有一设于所述平台的切换装置，所述调针视觉模块及所述收光模块设于所述切换装置并能受所述切换装置带动而沿一实质上平行于所述平台的水平路径位移，各所述静电放电前置盒设置于所述水平路径两侧。 3.如权利要求2所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：各所述静电放电前置盒的一纵长轴与所述水平路径之间有一呈锐角的夹角。 4.如权利要求2至3中任一所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：所述平台能定义出一长轴及一短轴，所述水平路径实质上平行于所述短轴。 5.如权利要求4所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：所述切换装置包含有一带动所述调针视觉模块及所述收光模块沿所述水平路径位移的水平导轨单元、一设于所述水平导轨单元的垂直导轨单元、一设于所述垂直导轨单元的悬臂单元以及一设于所述平台的立柱，所述水平导轨单元的设置位置高于各所述静电放电前置盒，所述悬臂单元自所述垂直导轨单元实质上平行于所述水平路径地延伸而出，所述调针视觉模块及所述收光模块设于所述悬臂单元，所述水平导轨单元设于所述立柱，所述立柱、所述水平导轨单元及至少一所述静电放电前置盒设于所述水平路径的所述两侧中的同一侧，其中至少一所述静电放电前置盒位于所述水平导轨单元下方。 6.如权利要求1所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：还包含有至少二载台，各所述载台包含有一自所述平台向上延伸的立轴，以及一设于所述立轴的承载座，各所述静电放电前置盒分别设于各所述载台的承载座。 7.如权利要求6所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：各所述载台的立轴能相对所述平台转动。 8.如权利要求2所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：所述切换装置包含有一带动所述调针视觉模块及所述收光模块沿所述水平路径位移的水平导轨单元，所述水平导轨单元的设置位置高于各所述静电放电前置盒。 9.如权利要求1至3及6至8中任一所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：每一个所述的静电放电前置盒至少部分位于一个所述的探针装置的正上方。 10.如权利要求1至3及6至8中任一所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：所述调针视觉模块包含有一感光耦合元件摄影机。 11.一种多晶粒光学检测设备，其特征在于包含有：一平台；一探针装置，设于所述平台；一载台，所述载台包含有一自所述平台向上延伸且能相对所述平台转动的立轴，以及一设于所述立轴而能受所述立轴带动而转动的承载座；一静电放电前置盒，设于所述载台的承载座并且至少有一部分位于所述探针装置的正上方。 12.如权利要求11所述的多晶粒光学检测设备，其特征在于：所述静电放电前置盒位于所述探针装置的正上方的部分，延伸于所述承载座之外。
所属类别：	实用新型