原文传递
一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘
| 专利名称： | 一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，设置于冷却液主泵的底部，包括：方盘，所述方盘上设置有20‑30个直径为8‑12mm的主孔眼，且每个所述主孔眼的周围均匀分布有8‑10个直径为4‑7mm的辅助孔眼。本实用新型公开的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，主泵将冷却液直接打到冷却盘上，再由冷却盘的孔眼流到单晶硅棒上，水和悬浮液混合液及时冲刷形成保护膜，防止单晶板材氧化，提高单晶品质。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 河北;13 |
| 申请人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 发明人： | 王志勇;刘瑞鹏;张浩强;杨红涛;柳志强;焦鹏;刘建强;张少星;崔朝坤 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-11-08T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-09-24T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821837380.4 |
| 公开号： | CN209425922U |
| 代理机构： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) |
| 代理人： | 曹鹏飞 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 054000 河北省邢台市宁晋县晶龙大街267号 |
| 主权项： | 1.一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，设置于冷却液主泵(6)的底部，其特征在于，包括：方盘(1)，所述方盘(1)上设置有20-30个直径为8-12mm的主孔眼(2)，且每个所述主孔眼(2)的周围均匀分布有8-10个直径为4-7mm的辅助孔眼(3)。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述主孔眼(2)的数量为25个，直径为10mm。 3.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，每个所述主孔眼(2)周围的所述辅助孔眼(3)的数量为8个，直径为6mm。 4.根据权利要求3所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述方盘(1)的边长尺寸为1.0-1.5m。 5.根据权利要求4所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述方盘(1)采用不锈钢材质制成。 6.根据权利要求5所述的一种单晶硅切方防板材氧化冷却盘，其特征在于，所述方盘(1)内部还设置有加强肋(4)，且所述加强肋(4)上设置有多个通孔(5)。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
检索历史
应用推荐
