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原文传递电镜像差的确定方法、消除方法及装置

专利名称：	电镜像差的确定方法、消除方法及装置
摘要：	本发明提供了一种电镜像差的确定方法、消除方法及装置，该确定方法包括：利用多个电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练，得到电镜图像识别模型；其中，各所述电镜模拟像对应各自的设定像差；利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行识别，得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像；其中，所述电镜模拟像和所述实验样品的电镜图像均属于设定类型图像；根据所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像得到相应的所述设定像差，作为所述实验样品的电镜图像的成像像差。通过上述方案能够利用实验样品的晶格像得到电镜的像差值，从而避免采用非晶区域测量成像像差，达到提高电镜的成像效果的目的。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	华南农业大学
发明人：	林芳;张旗;王晨
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201910468108.6
公开号：	CN110231360A
代理机构：	北京金咨知识产权代理有限公司
代理人：	秦景芳
分类号：	G01N24/08(2006.01);G;G01;G01N;G01N24
申请人地址：	510000 广东省广州市天河区五山路483号
主权项：	1.一种电镜像差的确定方法，其特征在于，包括：利用多个电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练，得到电镜图像识别模型；其中，各所述电镜模拟像对应各自的设定像差；利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行识别，得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像；其中，所述电镜模拟像和所述实验样品的电镜图像均属于设定类型图像；根据所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像得到相应的所述设定像差，作为所述实验样品的电镜图像的成像像差。 2.如权利要求1所述的电镜像差的确定方法，其特征在于，利用多个电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练，得到电镜图像识别模型，包括：对所述电镜模拟像进行特征提取，得到图像特征；对所有所述图像特征进行聚类分析，以对所有所述电镜模拟像进行分类；分类后的所述电镜模拟像对应各自的类别；基于设定网络参数、设定网络超参数及设定损失函数，利用分类后的所述电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练，得到电镜图像识别模型。 3.如权利要求2所述的电镜像差的确定方法，其特征在于，基于设定网络参数、设定网络超参数及设定损失函数，利用分类后的所述电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练，得到电镜图像识别模型之前，还包括：针对所述设定类型图像，对基于ImageNet数据集训练得到的网络参数进行参数迁移，得到所述设定网络参数。 4.如权利要求3所述的电镜像差的确定方法，其特征在于，对所述电镜模拟像进行特征提取，得到图像特征，包括：基于所述设定网络参数，利用神经网络对所述电镜模拟像进行特征提取，得到图像特征。 5.如权利要求2所述的电镜像差的确定方法，其特征在于，利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行识别，得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像，包括：利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行类别识别，得到所述实验样品的电镜图像对应的所述类别；利用所述电镜图像识别模型在所述实验样品的电镜图像对应的所述类别中进行图像识别，得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像。 6.如权利要求1所述的电镜像差的确定方法，其特征在于，所述设定类型图像为高分辨像；和/或所述电镜模拟像是透射式电子显微镜模拟像；和/或各所述电镜模拟像是对应同一材料的模拟像，且所述实验样品包含所述材料。 7.一种电镜像差的消除方法，其特征在于，包括：利用如权利要求1至6任一项所述的电镜像差的确定方法确定实验样品的电镜图像的成像像差；根据所述成像像差消除所述实验样品的电镜图像中的像差。 8.一种电镜像差的确定装置，其特征在于，包括：网络训练单元，用于利用多个电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练，得到电镜图像识别模型；其中，各所述电镜模拟像对应各自的设定像差；图像识别单元，用于利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行识别，得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像；其中，所述电镜模拟像和所述实验样品的电镜图像均属于设定类型图像；像差确定单元，用于根据所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像得到相应的所述设定像差，作为所述实验样品的电镜图像的成像像差。 9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。 10.一种电镜，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。
所属类别：	发明专利