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原文传递溅射靶及其包装方法

专利名称：	溅射靶及其包装方法
摘要：	本发明提供一种抑制圆筒型背衬管的端部损伤的溅射靶。该溅射靶具有：圆筒型溅射靶材(110)；圆筒型背衬管(120)，通过接合材料与圆筒型溅射靶材(110)的内侧接合，且该圆筒型背衬管的在中心轴(C)方向上的长度比圆筒型溅射靶材(110)的在中心轴(C)方向上的长度长；以及保护盖(130)，覆盖圆筒型背衬管(120)的在中心轴(C)方向上的至少某个端部(121)；保护盖(130)含有合成树脂。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	JX金属株式会社
发明人：	馆野论;鹤田好孝
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201910207461.9
公开号：	CN110282177A
代理机构：	成都超凡明远知识产权代理有限公司
代理人：	魏彦;洪玉姬
分类号：	B65B31/00(2006.01);B;B65;B65B;B65B31
申请人地址：	日本东京
主权项：	1.一种溅射靶，其特征在于，具有：圆筒型溅射靶材；圆筒型背衬管，通过接合材料与所述圆筒型溅射靶材的内侧接合，且所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的长度比该圆筒型溅射靶材的在中心轴方向上的长度长；以及保护盖，覆盖所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的至少某个端部；所述保护盖含有合成树脂。 2.根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述保护盖覆盖所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的两端部。 3.根据权利要求1或2所述的溅射靶，其特征在于，所述保护盖的在轴向上的一端部沿圆周方向形成凹状的缺口部，所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的至少某个端部插入所述缺口部。 4.根据权利要求3所述的溅射靶，其特征在于，所述缺口部的外侧内周面与所述圆筒型背衬管的在中心轴方向上的端部的外周面之间的间隙为0.1mm以上且小于1.0mm。 5.根据权利要求3所述的溅射靶，其特征在于，所述缺口部与所述圆筒型背衬管的端部的端面、外周面以及内周面抵接。 6.根据权利要求3所述的溅射靶，其特征在于，所述保护盖还覆盖所述圆筒型溅射靶材的在中心轴方向上的端部。 7.根据权利要求1～6中任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述合成树脂是从由硅橡胶、维通橡胶、氟橡胶、丁基橡胶、丙烯酸橡胶、乙丙橡胶、氨基甲酸乙酯橡胶、聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、硅类弹性体、丁二烯类弹性体、聚酰胺类弹性体、聚苯乙烯类弹性体、氨基甲酸乙酯类弹性体、聚氨酯树脂、柔性环氧树脂、氟树脂、聚碳酸酯、聚丙烯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯以及聚萘二甲酸乙二醇酯所构成的组中选择的至少一种。 8.根据权利要求1～6中任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述合成树脂为聚四氟乙烯。 9.根据权利要求1～8中任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述保护盖的壁厚为2.0mm以上。 10.根据权利要求1～9中任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述保护盖的壁厚为5.0mm以下。 11.根据权利要求1～10中任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述保护盖的杨氏模量为2000MPa以下。 12.根据权利要求1～11中任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述圆筒型溅射靶材包含从由ITO、ZnO、IZO以及IGZO所构成的组中选择的一种作为主要成分。 13.根据权利要求1～12中任一项所述的溅射靶，其特征在于，多个所述圆筒型溅射靶材以同轴方式排列。 14.一种溅射靶的包装方法，用于包装权利要求1～13中任一项所述的溅射靶，其特征在于，包括：将所述圆筒型背衬管的中空部的内部调节成非活性气体环境或真空环境的工序；以及以覆盖所述圆筒型背衬管的两端的开口部并密封所述中空部的内部的方式形成保护膜的工序。 15.根据权利要求14所述的溅射靶的包装方法，其特征在于，所述中空部的内部的所述非活性气体的压力为30kPa～60kPa。 16.根据权利要求14或15所述的溅射靶的包装方法，其特征在于，所述非活性气体为氩气或氮气。 17.根据权利要求14～16中任一项所述的溅射靶的包装方法，其特征在于，所述中空部的内部的所述非活性气体的露点温度为-80℃～-50℃。
所属类别：	发明专利