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基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列
| 专利名称： | 基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够检测气体种类和检测相应气体的浓度；并且响应速率快，识别率高，检测效果明显的基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列。该气体传感器阵列包括基底和形成在所述基底上的多组电阻式传感器；先在SiO2/Si基底上沉积金属电极阵列，所述金属电极阵列包括6种不同种类的金属电极对；再将石墨烯薄膜转移并覆盖到所述基底的金属电极阵列上；最后将电极对间隙上方的石墨烯薄膜上表面用金属薄膜完全覆盖。此时，石墨烯与不同金属电极接触所形成的异质结构成了一种对多种气体敏感的传感器阵列。采用该基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列在矿井作业，食品安全检测，环境监测、机器人电子鼻等方面有较好的应用前景。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 广西;45 |
| 申请人： | 广西师范大学 |
| 发明人： | 李全福;朱小虎;张祺;刘卫华;彭慧玲;刘林生;宋辉;李廷会;汪海船 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-10-11T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920076641.3 |
| 公开号： | CN209486033U |
| 代理机构： | 北京中济纬天专利代理有限公司 |
| 代理人： | 石燕妮 |
| 分类号： | G01N27/30(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 541004 广西壮族自治区桂林市七星区育才路15号 |
| 主权项： | 1.基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列，其特征在于：包括SiO2/Si基底(8)；所述SiO2/Si基底(8)上表面的中间位置设置有主线路(10)；所述主线路(10)的两端均设置有第一接线端子(11)； 所述主线路(10)两侧均设置有电阻式传感器；所述电阻式传感器包括金属电极、金属电极上的石墨烯薄膜(9)以及顶层的金属覆盖层(12)； 所述金属电极均包括两个电极单元，两个电极单元上表面设置有连续的石墨烯薄膜(9)；两个电极单元间隙正上方的石墨烯薄膜上表面设置有金属覆盖层(12)；两个电极单元中的一个电极单元与主线路(10)连通，另一个电极单元设置有第二接线端子(7)。 2.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列，其特征在于：所述主线路(10)两侧设置有六个电阻式传感器；六个电阻式传感器的电极分别为：Au电极(1)、Ag电极(2)、Ni电极(3)、Pt电极(4)、Pd电极(5)以及Al电极(6)。 3.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列，其特征在于：所述电极单元的厚度为50～100nm；两个电极单元之间的间距d远小于电极单元本身的宽度L。 4.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列，其特征在于：与金属电极接触的石墨烯薄膜(9)的层数为单层或者双层或者3～10层。 5.如权利要求1所述的基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列，其特征在于：所述电阻式传感器顶层的金属覆盖层的厚度为30～50nm；覆盖层金属为Au或者Al。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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