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原文传递自动定位式上下设备

专利名称：	自动定位式上下设备
摘要：	本实用新型涉及一种自动定位式上下设备，包括有底座，底座上安装有晶圆夹取装置，晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。由此，带有自动定位装置，能将运输中的晶圆准确定位放置到加工位和料盒中。整体构造简单，一体性好，无需占用较大的设备空间。能够与目前常规的晶圆加工设备匹配使用，泛用性较好。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	苏州镭明激光科技有限公司
发明人：	施政;施心星;李斌
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201822206087.4
公开号：	CN209478651U
代理机构：	苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司
代理人：	高玉蓉
分类号：	B28D7/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D7
申请人地址：	215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区04幢102、202室
主权项：	1.自动定位式上下设备，包括有底座，其特征在于：所述底座上安装有晶圆夹取装置，所述晶圆夹取装置上连接有晶圆定位装置，所述晶圆夹取装置的一侧安装有料盒升降装置，所述晶圆定位装置上还连接有晶圆转移装置。 2.根据权利要求1所述的自动定位式上下设备，其特征在于：所述晶圆夹取装置包括有支撑脚，所述支撑脚与底座相连，所述支撑脚上安装有第一导轨，所述第一导轨的两端均设置有轴承安装座，所述轴承安装座之间连接有第一丝杆，所述第一丝杆的一端连接有驱动电机，所述第一导轨上安装有夹持组件。 3.根据权利要求2所述的自动定位式上下设备，其特征在于：所述夹持组件夹持组件包括有夹子连接板，所述夹子连接板上连接有气缸，所述气缸上设置有夹片。 4.根据权利要求1所述的自动定位式上下设备，其特征在于：所述晶圆定位装置包括有安装脚，所述安装脚与底座相连，所述安装脚上连接有安装板，所述安装板两侧均连接有副带轮，且至少一个副带轮上连接有控制电机，所述副带轮上套设有副皮带，所述副皮带上安装有定位块。 5.根据权利要求1所述的自动定位式上下设备，其特征在于：所述料盒升降装置包括有安装底板，所述安装底板的两侧安装有第二导轨，所述安装底板上还连接有第二丝杆，所述第二丝杆的两端设置有轴承安装座，所述第二导轨上安装有料盒支撑板且料盒支撑板位于第二丝杆的上端，所述安装底板上安装有升降电机，所述第二丝杆与升降电机上均设置有独立的主带轮，所述主带轮上套设有主皮带。 6.根据权利要求1所述的自动定位式上下设备，其特征在于：所述晶圆转移装置包括有与晶圆定位装置相连的转接板，所述转接板上安装有伸缩杆，所述伸缩杆上连接有转移电机。 7.根据权利要求6所述的自动定位式上下设备，其特征在于：所述伸缩杆的安装位置位于所述晶圆定位装置的上方。
所属类别：	实用新型