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原文传递检测系统和检测方法

专利名称：	检测系统和检测方法
摘要：	本发明提供了一种检测系统和检测方法，包括：运动单元、检测单元及校验单元；其中，所述运动单元用以承载待检测对象，并带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；所述检测单元用以根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；所述校验单元用以根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元缺失的预定位置。在本发明提供的检测系统和检测方法中，所述校验单元能检测到所述检测单元缺失的预定位置，由此在检测单元丢了一些需要操作的预定位置的情况下，也无须重新扫描以获取缺失的预定位置，避免了因为预定位置的信息的丢失而检测整个待检测对象，提高了检测系统的效率。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人：	陆海亮;杨业超;孙书诚;邓兵;张鹏黎;徐文;王帆
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201810276781.5
公开号：	CN110320209A
代理机构：	上海思捷知识产权代理有限公司
代理人：	王宏婧
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201203 上海市浦东新区张东路1525号
主权项：	1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：运动单元、检测单元及校验单元；其中，所述运动单元用以承载待检测对象，并带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；所述检测单元用以根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；所述校验单元用以根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元缺失的预定位置。 2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述校验单元将得到的所述检测单元缺失的预定位置的信息发送给所述运动单元，所述运动单元带动所述待检测对象至所述检测单元缺失的预定位置，并向所述检测单元发出触发信号。 3.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括控制单元，所述控制单元用以向所述运动单元及所述校验单元发送预定位置的信息。 4.如权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述校验单元将得到的所述检测单元缺失的预定位置的信息发送给所述控制单元，所述控制单元向所述运动单元发送所述检测单元缺失的预定位置的信息，所述运动单元带动所述待检测对象至所述检测单元缺失的预定位置，并向所述检测单元发出触发信号。 5.如权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述预定位置的信息包含多个呈阵列排布的所述预定位置。 6.如权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述校验单元包括第一校验单元和第二校验单元，所述第一校验单元用以将触发信号、检测单元的检测方向以及预定位置的信息进行编码发送给所述第二校验单元，所述第二校验单元用以将所述第一校验单元发送的信息解码并将解码后的触发信号与解码后的预定位置的信息比对判断是否有缺失的触发信号从而判断所述检测单元是否有缺失的预定位置。 7.如权利要求6所述的检测系统，其特征在于，所述编码方向包括正向编码和反向编码。 8.如权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述第二校验单元通过记录相邻的触发信号的时间间隔的方式来判断所述检测单元缺失的预定位置。 9.如权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述第一校验单元采用正交编码。 10.如权利要求1～9中任一项所述的检测系统，其特征在于，所述检测单元包括图像采集设备，所述检测操作包括图像采集。 11.一种采用如权利要求1～10中任一项所述的检测系统进行的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：控制单元向运动单元和校验单元发送预定位置的信息；所述运动单元接收到所述预定位置的信息后开始运动并发送起始信号给所述校验单元和所述检测单元，所述运动单元按照所述预定位置的信息带动所述待检测对象至预定位置后向所述检测单元和所述校验单元发出触发信号；所述检测单元根据所述触发信号在预定位置对所述待检测对象执行检测操作；所述校验单元对所述触发信号进行记录；所述运动单元完成运动并发送终止信号给所述校验单元和所述检测单元；所述校验单元接收到终止信号后根据所述触发信号及所述预定位置的信息得到所述检测单元是否有缺失的预定位置；如果所述检测单元有缺失的预定位置，则依据所述预定位置的信息比较时间上相邻的所述触发信号的时间间隔得到所述检测单元缺失的预定位置，并将缺失的预定位置的信息反馈给所述控制单元或所述运动单元。 12.如权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述运动单元发送触发信号给所述校验单元的方法包括：所述运动单元发送所述触发信号给所述第一校验单元，所述第一校验单元将所述触发信号通过正交编码后发送给所述第二校验单元。 13.如权利要求12所述的检测方法，其特征在于，所述第二校验单元对编码后的信息进行正交解码，解码后，所述第二校验单元记录触发信号和相邻触发信号的时间间隔。 14.如权利要求13所述的检测方法，其特征在于，所述校验单元判断检测单元是否有缺失预定位置的方法包括：所述第二校验单元判断解码后的触发信号个数是否与预定位置的信息的个数相等，如果不相等，判断检测单元有缺失的预定位置；如果相等，则判断所述检测单元没有缺失的预定位置。 15.如权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述第二校验单元将缺失的预定位置的信息发送给所述控制单元，所述控制单元发送缺失的预定位置的信息给所述运动单元，所述运动单元运动到缺失的预定位置，所述检测单元采集此处的图像。 16.如权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述第二校验单元将缺失的预定位置的信息发送给所述运动单元，所述运动单元运动到缺失的预定位置，所述检测单元采集此处的图像。
所属类别：	发明专利