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原文传递湿度感测器及其制造方法

专利名称：	湿度感测器及其制造方法
摘要：	本发明提供一种湿度感测器及其制造方法。湿度感测器包含一基板、一电极层、一半导体层及一湿度感测层。电极层设置于基板上。半导体层位于电极层上。湿度感测层位于半导体层上，其中湿度感测层系由式(I)结构所组成：其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。本发明的湿度感测器具有更高的灵敏度，所能量测的阻抗值变化可达到4个数量级以上。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	业成科技(成都)有限公司
发明人：	涂煜杰
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-15T00:00:00+0800
申请号：	CN201910776385.3
公开号：	CN110333272A
代理机构：	成都希盛知识产权代理有限公司
代理人：	杨冬梅;张行知
分类号：	G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	611730 四川省成都市高新区西区合作路689号
主权项：	1.一种湿度感测器，其特征在于，包含：一基板；一电极层，设置于该基板上；一半导体层，位于该电极层上；以及一湿度感测层，位于该半导体层上，其中该湿度感测层系由式(I)结构所组成：其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。 2.如权利要求1所述的湿度感测器，其中该单股脱氧核醣核酸包含腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤、胞嘧啶及其一组合。 3.如权利要求1所述的湿度感测器，其中该半导体层包含二氧化锡。 4.如权利要求1所述的湿度感测器，其中该电极层具有一指叉式结构。 5.一种制造湿度感测器的方法，其特征在于，包含以下步骤：提供一基板及一电极层，其中该电极层位于该基板上；形成一半导体层于该电极层上；以及形成一湿度感测层于该半导体层上，该湿度感测层系由式(I)结构所组成：其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。 6.如权利要求5所述的方法，其中形成该半导体层于该电极层上的步骤包含：沉积一电浆于该电极层上，其中该电浆为四甲基锡及氧气的一混合物。 7.如权利要求5所述的方法，其中形成该湿度感测层于该电极层上的步骤包含以下子步骤：形成一胺基结构于该半导体层上；连接一直链或支链烷基醛结构至该胺基结构上；以及连接一单股脱氧核醣核酸于该直链或支链烷基醛结构上。 8.如权利要求7所述的方法，其中形成该胺基结构于该半导体层上的子步骤包含一光聚合反应。 9.如权利要求8所述的方法，其中在执行该光聚合反应后，形成该胺基结构于该半导体层上的子步骤更包含将该半导体层浸渍于一聚乙烯亚胺溶液中。 10.如权利要求5所述的方法，其中该单股脱氧核醣核酸包含腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤、胞嘧啶及其一组合。
所属类别：	发明专利