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原文传递基板表面检测装置

专利名称：	基板表面检测装置
摘要：	本实用新型中实施例中的基板表面检测装置包括：移送单元，用于移送基板；第1检测单元，具备用于检测基板的下面的多个第1摄像机，多个第1摄像机以相互不同的角度面向基板的下面的方式进行配置；第2检测单元，具备多个用于检测基板的边缘部的第2摄像机。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	韩国;KR
申请人：	塔工程有限公司
发明人：	崔汉铉
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-16T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-18T00:00:00+0800
申请号：	CN201821893115.8
公开号：	CN209513645U
代理机构：	北京钲霖知识产权代理有限公司
代理人：	金丹;李强
分类号：	G01N21/89(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	韩国庆尚北道
主权项：	1.一种基板表面检测装置，其中，包括：移送单元，用于移送基板；第1检测单元，具备用于检测所述基板的下面的多个第1摄像机，所述多个第1摄像机以相互不同的角度面向所述基板的下面的方式进行配置；第2检测单元，具备多个用于检测所述基板的边缘部的第2摄像机。 2.根据权利要求1所述的基板表面检测装置，其中，所述第1摄像机相比于所述第2摄像机高速运行。 3.根据权利要求1所述的基板表面检测装置，其中，与所述第2摄像机相比，所述第1摄像机摄像宽领域。
所属类别：	实用新型