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原文传递基板检测装置

专利名称：	基板检测装置
摘要：	一种基板检测装置，包括扫描单元、控制系统以及光学测距单元，光学测距单元设置在扫描单元上，实时监测扫描单元与基板之间的第一距离值，并将第一距离值发送到控制系统，控制系统调节扫描单元的高度以使得第一距离值与控制系统中的设定值相同。通过设置光学测距单元，实时监测和调整扫描单元与基板之间的距离，进而使得两者之间的距离保持为固定值，不会因基板的平整度变化或硬件磨损老化而导致相机的扫图模糊，进而避免了基板缺陷漏检的问题，且可延迟检测设备的校正周期。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
发明人：	王珂
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-07-16T00:00:00+0800
申请号：	CN201910327317.9
公开号：	CN110018171A
代理机构：	深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人：	黄威
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
主权项：	1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：平台，用以承载基板；多个扫描单元，设置于所述平台上方；控制系统，与所述扫描单元连接；以及光学测距单元，设置于所述扫描单元上，用以实时监测所述扫描单元与所述基板之间的第一距离值；其中，所述光学测距单元与所述控制系统连接，所述光学测距单元将所述第一距离值发送到所述控制系统，所述控制系统通过调节所述扫描单元的高度以使得所述第一距离值与所述控制系统中的设定值相同。 2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述光学测距单元与所述扫描单元固定连接，所述光学测距单元与所述扫描单元一起移动。 3.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括支撑机构，所述扫描单元设置于所述支撑机构上。 4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述支撑机构与所述控制系统连接，所述支撑机构在竖直方向上移动。 5.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述支撑机构包括至少两个水平支撑杆和竖直支撑杆，所述水平支撑杆与所述竖直支撑杆连接。 6.根据权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述竖直支撑杆上设置有与所述控制系统连接的驱动件，所述驱动件驱动所述扫描单元在竖直方向上移动。 7.根据权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述扫描单元与所述水平支撑杆连接，所述扫描单元沿所述水平支撑杆的延伸方向滑动。 8.根据权利要求7所述的基板检测装置，其特征在于，所述水平支撑杆并排设置于所述平台的上方。 9.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述平台下方设置有传送带，所述传动带驱动所述基板沿着所述平台的延伸方向移动。 10.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括光源，所述光源设置于所述平台的上方。
所属类别：	发明专利